[发明专利]一种用于水平电镀设备上的接触式上电极导电装置

说明书

本发明公开了一种用于水平电镀设备上的接触式上电极导电装置，包括待电镀半导体器件，待电镀半导体器件上表面设置有与其进行多点或整面接触的导电接触部件，导电接触部件上设置有用于对其进行导电和支撑作用的导电支撑装置，导电支撑装置与外置偏压电源或者电镀阳极导通。本发明的一种用于水平电镀设备上的接触式上电极导电装置,保证量产化效率的同时解决以往电镀方法应用在高效异质结电池(HJT)或其他使用了表面钝化技术的单面电池或者双面电池上进行金属沉积时的不均匀性，同时降低电镀过程中的表面损伤或器件损坏率。

技术领域

本发明涉及一种用于水平电镀设备上的接触式上电极导电装置，用于太阳能电池及其他半导体器件水平电镀金属化的上电极及系统，属于器件制造领域。

背景技术

在太阳能电池上使用电镀的方法形成金属化电极可以使用更为便宜的镍、锡、铜等更为便宜的金属替代昂贵的丝网印刷银浆。但是，传统工业中常用的挂镀、垂直电镀等方法应用在太阳能电池上却有着金属沉积不均匀、良率和量产效率低等问题。而水平电镀的方法虽然有着可对太阳能电池进行单面电镀并提高适合量产化的优势，但过去公开的水平电镀方法却并不能适应所有的太阳能电池。其原因之一在于电镀设备的上电极多采用单点或单线接触使得其难以在高效异质结电池(HJT)或其他应用了表面钝化技术的单面电池或者双面电池中形成均匀性好、可靠性高的高质量金属化电极。并且上电极施加在待电镀电池片上的压力往往难以控制，易造成表面损伤或电池损坏。

发明内容

本发明要解决的技术问题是，克服现有技术的缺陷，提供一种能够在待电镀半导体器件表面形成均匀性好、可靠性高的金属沉积且不会损伤待电镀半导体器件表面的用于水平电镀设备上的接触式上电极导电装置。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种用于水平电镀设备上的接触式上电极导电装置，包括待电镀半导体器件，所述待电镀半导体器件上表面设置有与其进行多点或整面接触的导电接触部件，所述导电接触部件与外置偏压电源或者电镀阳极导通。

所述导电接触部件上设置有用于对其进行导电和支撑作用的导电支撑装置，所述导电接触部件通过所述导电支撑装置与外置偏压电源或者电镀阳极导通。

所述导电接触部件与所述待电镀半导体器件整面接触，所述导电接触部件与所述待电镀半导体器件的形状相同，所述导电接触部件的尺寸不大于与所述待电镀半导体器件的尺寸。

所述导电支撑装置包括支撑部件和固定部件，所述支撑部件与所述导电接触部件接触，所述支撑部件和固定部件之间连有用于调节所述支撑部件与所述导电支撑装置之间压力的弹性单元。

所述支撑部件为L型支撑杆，所述固定部件为L型支撑梁，所述L型支撑杆的竖直端部与所述导电接触部件上表面相连，所述L型支撑杆的水平端部连有起重块，所述L型支撑梁竖直端部与所述L型支撑杆的水平部活动连接，所述弹性单元包括分别设置在所述L型支撑杆和L型支撑梁的水平部上的滑动元件，两个所述滑动元件之间连有弹性支撑元件。

所述起重块为铁块，所述铁块的上方或者下方设置有电磁铁。

所述导电接触部件与所述待电镀半导体器件进行多点接触，且待电镀半导体器件表面上任意一点距离最近的导电接触部件的最小直线距离小于60mm。

所述导电支撑装置包括用于向导电接触部件传输电子的同时向其提供压力或支撑力的支撑杆，所述支撑杆的上端连有支撑梁。

所述支撑梁与所述支撑杆的上端接触处设置有用于限定所述支撑杆沿着所述支撑梁移动方向前后摆动的限位结构。