[发明专利]一种探测面板及探测装置有效
申请号: | 201810772620.5 | 申请日: | 2018-07-13 |
公开(公告)号: | CN108962928B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 梁魁;林家强;刘晓惠;段立业;张春倩;侯孟军 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 贾莹 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 探测 面板 装置 | ||
1.一种探测面板,其特征在于,包括衬底基板、依次位于所述衬底基板上的光电转换层、第一绝缘层;
所述探测面板还包括多个叉指电极;所述叉指电极位于所述第一绝缘层远离所述衬底基板一侧的表面上;
所述探测面板还包括覆盖所述叉指电极的第二绝缘层,以及位于所述第二绝缘层远离所述衬底基板一侧表面的多个开关晶体管;
所述叉指电极包括梳状的感应子电极和梳状的偏压子电极;所述感应子电极与所述偏压子电极交叉设置;
所述第二绝缘层上设置有第一过孔;所述开关晶体管为底栅型薄膜晶体管;所述开关晶体管的栅极与第一极之间设置有栅极绝缘层;所述栅极绝缘层上设置有第二过孔;所述开关晶体管的第一极依次通过所述第二过孔和所述第一过孔与所述感应子电极电连接。
2.根据权利要求1所述的探测面板,其特征在于,所述探测面板包括多条读取信号线和选通信号线,所述读取信号线与所述选通信号线交叉界定多个检测单元;
每个所述检测单元内设置有一个所述叉指电极和一个所述开关晶体管;
所述开关晶体管的栅极与所述选通信号线电连接,第二极与所述读取信号线电连接。
3.根据权利要求1所述的探测面板,其特征在于,所述衬底基板为光波导玻璃基板。
4.根据权利要求1所述的探测面板,其特征在于,构成所述第一绝缘层的材料包括聚酰亚胺;构成所述第二绝缘层的材料为光阻材料。
5.根据权利要求1所述的探测面板,其特征在于,所述探测面板还包括用于将非可见光转换为可见光的波长转换层;
所述波长转换层位于所述衬底基板远离所述第一绝缘层的一侧表面。
6.一种探测装置,其特征在于,包括如权利要求1-5任一项所述的探测面板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的