[发明专利]一种集成电路塑料封结构及其制备方法在审
| 申请号: | 201810771447.7 | 申请日: | 2018-07-13 |
| 公开(公告)号: | CN108899306A | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
| 发明(设计)人: | 朱媛;王剑峰;高娜燕;明雪飞 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十八研究所 |
| 主分类号: | H01L23/08 | 分类号: | H01L23/08;H01L23/31;H01L23/29;H01L21/56 |
| 代理公司: | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人: | 杨立秋 |
| 地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 盖板 集成电路 封装结构 密封结合 塑料封装 塑料 制备 集成电路制造技术 芯片 包封结构 包封树脂 空腔结构 陶瓷封装 芯片组装 水汽 密封体 包覆 分层 卡口 嵌入 抵抗 侵蚀 | ||
本发明提供了一种集成电路塑料封结构及其制备方法,属于集成电路制造技术领域。所述集成电路塑料封结构包括预模塑LCP外壳、LCP盖板、LCP密封结合层和芯片。芯片组装在预模塑LCP外壳中,LCP盖板紧密嵌入在预模塑LCP外壳的盖板卡口内,LCP密封结合层包覆在预模塑LCP外壳和LCP盖板周围形成密封体。与现有的基于EMC的塑料封装相比,本发明的封装结构具有更佳的抵抗水汽等侵蚀的能力;并采用陶瓷封装类似的空腔结构,与现有的采用完全包封结构的塑料封装相比,本发明的封装结构可规避芯片与包封树脂之间的分层问题。
技术领域
本发明涉及集成电路制造技术领域,特别涉及一种集成电路塑封结构及其制备方法。
背景技术
高可靠集成电路的封装通常有陶瓷封装、金属封装、陶瓷-玻璃封等三种主要形式。这三种封装都具有空腔结构,具有高气密性、高机械强度、高热导率等优点,广泛应用于航空、航天、军用、工业控制等领域。但与大规模生产的塑料封装相比,这几种封装在小型化、轻量化、成本及生产周期方面均处于劣势。
塑料封装的优点是尺寸小,重量轻,由于生产工艺相对简单,制造成本低,容易实现大规模化生产。另外,塑料封装所使用的环氧树脂包封材料具有较低的介电常数,在高频性能甚至优于陶瓷封装。其最大不足是普通塑料封装所使用的包封材料主要为环氧树脂,其渗水汽性能较差,而且封装后的分层问题很难避免。这些不足限制了塑料封装在高可靠集成电路封装中的应用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种集成电路塑料封结构及其制备方法,以解决现有的封装抗水汽侵蚀能力差、难以避免分层等问题。
为解决上述技术问题,本发明提供一种集成电路塑料封结构,包括预模塑LCP外壳、LCP盖板、LCP密封结合层和芯片;其中,
所述芯片组装在所述预模塑LCP外壳中;
所述预模塑LCP外壳设置有盖板卡口,所述LCP盖板紧密嵌入在所述盖板卡口内;
所述LCP密封结合层包覆在所述预模塑LCP外壳和所述LCP盖板周围形成密封体。
可选的,所述预模塑LCP外壳的材质与所述LCP盖板的材质相同,与所述LCP密封结合层的材质不同。
可选的,所述LCP密封结合层的材质的熔点低于所述预模塑LCP外壳和所述LCP盖板的材质的熔点。
本发明还提供了一种集成电路塑料封结构的制备方法,包括如下步骤:
步骤1、制作预模塑LCP外壳;
步骤2、在所述预模塑LCP外壳中组装芯片;
步骤3、将LCP盖板嵌入预模塑LCP外壳的盖板卡口内进行预密封;
步骤4、在预模塑LCP外壳和LCP盖板的周围注塑LCP密封结合层,形成完整塑封体;
步骤5、对完整塑封体进行切割,分成单个封装。
可选的,所述步骤1中制作出的预模塑LCP外壳采用阵列排布的成型方式。
可选的,所述步骤2具体为:采用芯片装片、键合工艺在所述预模塑LCP外壳中完成芯片组装。
可选的,在预模塑LCP外壳和LCP盖板的周围注塑LCP密封结合层之前,所述步骤4还包括:将完成预密封的预模塑LCP外壳和LCP盖板放置在注塑成型的模具内。
可选的,所述预模塑LCP外壳根据具体产品尺寸设有盖板卡口。
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