[发明专利]一种超薄玻璃sensor及其制备方法在审
申请号: | 201810751838.2 | 申请日: | 2018-07-10 |
公开(公告)号: | CN109279785A | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 崔子龙;俎阿敏;刘威;吴德生 | 申请(专利权)人: | 信利光电股份有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 邓义华;廖苑滨 |
地址: | 516600 广东省汕*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大片玻璃基板 超薄玻璃 功能片 玻璃盖板 制备 衬底基板 第二表面 第一表面 蓝膜 贴合 减薄处理 若干小片 弯曲性能 相对设置 面贴合 胶层 良率 丝印 加热 切割 大片 制作 | ||
1.一种超薄玻璃sensor的制备方法,包括如下步骤:
S1.提供大片玻璃基板,所述大片玻璃基板具有相对设置的第一表面和第二表面;
S2.在大片玻璃基板的第一表面制作sensor;
S3.在所述sensor上丝印蓝膜;
S4.将大片衬底基板通过胶层与所述大片玻璃基板的蓝膜面贴合,得到功能片;
S5.对所述大片玻璃基板的第二表面进行减薄处理;
S6.对所述功能片进行切割,得到若干小片功能片;
S7.加热所述小片功能片,分离出衬底基板,得到超薄玻璃sensor。
2.如权利要求1所述的超薄玻璃sensor的制备方法,其特征在于,步骤S4的具体操作为:(1)提供大片衬底基板;(2)在所述大片衬底基板表面上丝印环氧胶;(3)将大片衬底基板的环氧胶面与所述大片玻璃基板的蓝膜面贴合,得到功能片。
3.如权利要求1所述的超薄玻璃sensor的制备方法,其特征在于,步骤S7中加热的温度为60-150℃。
4.如权利要求1所述的超薄玻璃sensor的制备方法,其特征在于,步骤S1中,所述大片玻璃基板的厚度大于0.4mm。
5.如权利要求1所述的超薄玻璃sensor的制备方法,其特征在于,所述超薄玻璃sensor的厚度为25-300μm。
6.如权利要求1所述的超薄玻璃sensor的制备方法,其特征在于,所述衬底基板为玻璃基板。
7.如权利要求1所述的超薄玻璃sensor的制备方法,其特征在于,步骤S5中,对所述大片玻璃基板的第二表面进行物理减薄或化学减薄。
8.如权利要求7所述的超薄玻璃sensor的制备方法,其特征在于,在对所述大片玻璃基板的第二表面进行化学减薄后,对所述第二表面进行抛光处理。
9.一种超薄玻璃sensor,其由权利要求1-8任一项所述的方法制备得到。
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