[发明专利]一种高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置在审
| 申请号: | 201810736554.6 | 申请日: | 2018-07-06 |
| 公开(公告)号: | CN109037128A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
| 发明(设计)人: | 刘宏;王春定;龚志国;姚学森;刘柏林 | 申请(专利权)人: | 天长市百盛半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
| 地址: | 239300 安徽省滁州市天长*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 伸缩副杆 伸缩主杆 伸缩组件 固定部 吸杆 太阳能电池 高稳定性 抓取机构 转移装置 晶体硅 卡槽 平行 吸盘 负压发生单元 驱动机构 同一直线 活动架 伸缩 抬起 垂直 | ||
本发明公开了一种高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,包括:活动架抓取机构和驱动机构,其中:抓取机构包括吸杆、吸盘、负压发生单元、第一伸缩组件和第二伸缩组件,且第一伸缩组件包括第一伸缩主杆和第一伸缩副杆,第二伸缩组件包括第二伸缩主杆和第二伸缩副杆;第一伸缩主杆与吸杆垂直;第一伸缩副杆与吸杆平行并与第一伸缩主杆固定连接,第一伸缩副杆上设有第一固定部,第一固定部上设有第一卡槽;第二伸缩与第一伸缩主杆位于同一直线上;第二伸缩副杆与吸杆平行并与第二伸缩主杆固定连接,第二伸缩副杆上设有第二固定部,第二固定部上设有第二卡槽。本发明可自动将工件抬起并避免工件在转移的过程中出现意外脱落现象。
技术领域
本发明涉及单晶硅片生产制造技术领域,尤其涉及一种高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置。
背景技术
单晶硅片在生产过程中,需要经过多道加工工序,各道加工工序之间需要利用转移装置将待加工的工件进行转移,然而现有的转移装置在对水平放置的片类件转尚有许多不足之处,亟待改进。
发明内容
基于上述背景技术存在的技术问题,本发明提出一种高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置。
本发明提出了一种高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,包括:活动架、安装在活动架上以用于对待转移的工件进行搬运的抓取机构和用于驱动活动架进行移动的驱动机构,其中:
抓取机构包括吸杆、安装在吸杆一端以用于对待转移工件进行吸附的吸盘、用于使吸杆内部产生负压的负压发生单元、以及第一伸缩组件和第二伸缩组件,且第一伸缩组件包括可自动伸缩的第一伸缩主杆和第一伸缩副杆,第二伸缩组件包括可自动伸缩的第二伸缩主杆和第二伸缩副杆;
第一伸缩主杆位于吸杆延伸方向的一侧并与吸杆垂直,且第一伸缩主杆的一端与吸杆固定;第一伸缩副杆位于第一伸缩主杆靠近吸盘的一侧并与吸杆平行,且第一伸缩副杆远离吸盘的一端与第一伸缩主杆固定连接,其靠近吸盘的一端设有与其固定的第一固定部,所述第一固定部上设有可供待转移工件的边部卡入且开口朝向吸盘的第一卡槽;
第二伸缩主杆位于吸杆远离第一伸缩主杆的一侧并与第一伸缩主杆位于同一直线上,且第二伸缩主杆的一端与吸杆固定;第二伸缩副杆位于第二伸缩主杆靠近吸盘的一侧并与吸杆平行,且第二伸缩副杆远离吸盘的一端与第二伸缩主杆固定连接,其靠近吸盘的一端设有与其固定的第二固定部,所述第二固定部上设有可供待转移工件的边部卡入且开口朝向吸盘的第二卡槽。
优选地,抓取机构还包括支撑杆和动力单元,支撑杆的一端与活动架固定连接;吸杆远离吸盘的一端与支撑杆活动连接,且吸杆具有第一位置状态和第二位置状态,当其处于第一位置状态时,吸杆与支撑杆位于同一直线上,当其处于第二位置状态时,吸杆转至支撑杆的一侧并与支撑杆垂直;所述动力单元用于驱动吸杆在第一位置状态与第二位置状态之间切换。
优选地,动力单元固定安装在支撑杆上。
优选地,抓取机构设有多个,各抓取机构在活动架上间距布置。
优选地,任意相邻的两个抓取机构之间的间距可调。
优选地,还包括用于驱动各抓取机构在活动架上来回移动以调整相邻两个抓取机构之间间距的动力机构。
优选地,还包括用于实时检测第一卡槽与吸盘所在平面之间垂直距离的第一传感器,所述第一伸缩副杆根据第一传感器的检测数据控制其伸缩量。
优选地,还包括用于实时检测第一卡槽与吸盘所在平面之间水平距离的第二传感器,所述第一伸缩主杆根据第二传感器的检测数据控制其伸缩量。
优选地,还包括用于实时检测第二卡槽与吸盘所在平面之间垂直距离的第三传感器,所述第二伸缩副杆根据第三传感器的检测数据控制其伸缩量。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





