[发明专利]一种高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置在审
| 申请号: | 201810736554.6 | 申请日: | 2018-07-06 |
| 公开(公告)号: | CN109037128A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
| 发明(设计)人: | 刘宏;王春定;龚志国;姚学森;刘柏林 | 申请(专利权)人: | 天长市百盛半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
| 地址: | 239300 安徽省滁州市天长*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 伸缩副杆 伸缩主杆 伸缩组件 固定部 吸杆 太阳能电池 高稳定性 抓取机构 转移装置 晶体硅 卡槽 平行 吸盘 负压发生单元 驱动机构 同一直线 活动架 伸缩 抬起 垂直 | ||
1.一种高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,包括:活动架(1)、安装在活动架(1)上以用于对待转移的工件进行搬运的抓取机构和用于驱动活动架(1)进行移动的驱动机构,其中:
抓取机构包括吸杆(2)、安装在吸杆(2)一端以用于对待转移工件进行吸附的吸盘(3)、用于使吸杆(2)内部产生负压的负压发生单元、以及第一伸缩组件(4)和第二伸缩组件(5),且第一伸缩组件(4)包括可自动伸缩的第一伸缩主杆(41)和第一伸缩副杆(42),第二伸缩组件(5)包括可自动伸缩的第二伸缩主杆(51)和第二伸缩副杆(52);
第一伸缩主杆(41)位于吸杆(2)延伸方向的一侧并与吸杆(2)垂直,且第一伸缩主杆(41)的一端与吸杆(2)固定;第一伸缩副杆(42)位于第一伸缩主杆(41)靠近吸盘(3)的一侧并与吸杆(2)平行,且第一伸缩副杆(42)远离吸盘(3)的一端与第一伸缩主杆(41)固定连接,其靠近吸盘(3)的一端设有与其固定的第一固定部,所述第一固定部上设有可供待转移工件的边部卡入且开口朝向吸盘(3)的第一卡槽(6);
第二伸缩主杆(51)位于吸杆(2)远离第一伸缩主杆(41)的一侧并与第一伸缩主杆(41)位于同一直线上,且第二伸缩主杆(51)的一端与吸杆(2)固定;第二伸缩副杆(52)位于第二伸缩主杆(51)靠近吸盘(3)的一侧并与吸杆(2)平行,且第二伸缩副杆(52)远离吸盘(3)的一端与第二伸缩主杆(51)固定连接,其靠近吸盘(3)的一端设有与其固定的第二固定部,所述第二固定部上设有可供待转移工件的边部卡入且开口朝向吸盘(3)的第二卡槽(7)。
2.根据权利要求1所述的高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,抓取机构还包括支撑杆(8)和动力单元,支撑杆(8)的一端与活动架(1)固定连接;吸杆(2)远离吸盘(3)的一端与支撑杆(8)活动连接,且吸杆(2)具有第一位置状态和第二位置状态,当其处于第一位置状态时,吸杆(2)与支撑杆(8)位于同一直线上,当其处于第二位置状态时,吸杆(2)转至支撑杆(8)的一侧并与支撑杆(8)垂直;所述动力单元用于驱动吸杆(2)在第一位置状态与第二位置状态之间切换。
3.根据权利要求2所述的高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,动力单元固定安装在支撑杆(8)上。
4.根据权利要求1所述的高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,抓取机构设有多个,各抓取机构在活动架(1)上间距布置。
5.根据权利要求4所述的高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,任意相邻的两个抓取机构之间的间距可调。
6.根据权利要求5所述的高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,还包括用于驱动各抓取机构在活动架(1)上来回移动以调整相邻两个抓取机构之间间距的动力机构。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,还包括用于实时检测第一卡槽(6)与吸盘(3)所在平面之间垂直距离的第一传感器,所述第一伸缩副杆(42)根据第一传感器的检测数据控制其伸缩量。
8.根据权利要求7所述的高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,还包括用于实时检测第一卡槽(6)与吸盘(3)所在平面之间水平距离的第二传感器,所述第一伸缩主杆(41)根据第二传感器的检测数据控制其伸缩量。
9.根据权利要求1-6中任一项所述的高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,还包括用于实时检测第二卡槽(7)与吸盘(3)所在平面之间垂直距离的第三传感器,所述第二伸缩副杆(52)根据第三传感器的检测数据控制其伸缩量。
10.根据权利要求9所述的高稳定性太阳能电池晶体硅转移装置,其特征在于,还包括用于实时检测第一卡槽(6)与吸盘(3)所在平面之间水平距离的第四传感器,所述第二伸缩主杆(51)根据第四传感器的检测数据控制其伸缩量。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





