[发明专利]图像测量装置

说明书

一种图像测量装置，包括图像拾取单元、安装单元和判断单元。图像拾取单元捕获测量目标。测量目标安装在安装单元上，安装单元能够相对于图像拾取单元移动。判断单元基于与预定时间内图像拾取单元与安装单元之间的相对位置相关的信息来判断图像拾取单元捕获测量图像是否可能。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2017年7月4日提交的日本优先权专利申请JP2017-130974的权益，其全部内容通过引用结合于此。

技术领域

本发明涉及图像测量装置。

背景技术

从过去，已知在移动图像拾取范围的同时捕获测量目标的技术。例如，日本专利申请特开2013-171425号(以下称为专利文献1)描述了一种用于通过移动工作台来生成工件的合成图像的图像处理装置。在专利文献1中，其上放置工件的工作台在X轴方向和Y轴方向上适当地移动，并且在相应的移动位置捕获工件。所捕获的工件的图像通过图像匹配处理合成，从而生成工件的合成图像。因此，在比单拍图像拾取范围更宽的范围内生成工件的图像变得可能(专利文献1的说明书中的段落[0010]、[0017]和[0020]，图5等等)。

另外，日本专利申请特开平10-31165号(以下称为专利文献2)描述了一种扫描型激光显微镜，其检测其上放置样本的工作台在Z方向上的振动。在专利文献2中，通过激光长度测量设备来测量工作台与物镜之间的相对距离，并且检测Z方向上的振动。通过监视工作台在Z方向上的振动，生成没有图像模糊的图像数据(参见专利文献2的说明书中的段落[0014]、[0024]和[0028]，图1，等等)。

发明内容

在移动图像拾取范围的同时捕获测量目标时，避免工作台的振动等的影响是重要的。需要能够在抑制这种振动等的影响的同时准确捕获测量目标的技术。

鉴于上述情况，本发明的目的是提供一种图像测量装置，该图像测量装置能够在伴随有图像拾取范围的移动的观察中准确地捕获测量目标。

为了实现上述目的，根据本发明实施例的图像测量装置包括图像拾取单元、安装单元和判断单元。

图像拾取单元捕获测量目标。

在安装单元上安装测量目标，安装单元能够相对于图像拾取单元移动。

判断单元基于预定时间内与图像拾取单元和安装单元之间的相对位置相关的信息来判断由图像拾取单元捕获测量图像是否可能。

在该图像测量装置中，图像拾取单元和安装单元可以相对于彼此移动，并且安装在安装单元上的测量目标由图像拾取单元捕获。基于与预定时间内图像拾取单元和安装单元之间的相对位置相关的信息来判断捕获测量图像是否可能。因而，在伴随有图像拾取范围的移动的观察中准确地捕获测量目标变得可能。

在预定时间内图像拾取单元和安装单元之间的相对位置的改变落入预定范围内的情况下，判断单元可以判断捕获测量图像是可能的。

因而，在图像拾取单元和安装单元之间的相对振动足够小的状态下捕获测量图像变得可能。因此，准确地捕获测量目标变得可能。

安装单元可以包括安装表面，测量目标将被安装在安装表面上，并且可以相对于图像拾取单元沿着与安装表面相互正交和平行的第一方向和第二方向移动。

因而，沿着安装表面平面地移动图像拾取范围变得可能。因此，例如，容易地生成测量目标的合成图像等变得可能。

图像测量装置还可以包括坐标检测单元，该坐标检测单元能够检测指示图像拾取单元和安装单元之间沿着第一方向的相对位置的第一坐标值以及指示图像拾取单元和安装单元之间沿着第二方向的相对位置的第二坐标值。

通过基于第一坐标值和第二坐标值判断捕获可能的状态，在伴随有图像拾取范围的移动的观察中以足够的准确度捕获测量目标变得可能。