[发明专利]屏幕缺陷检测系统、屏幕检测线以及屏幕缺陷检测方法有效
申请号: | 201810713040.9 | 申请日: | 2018-06-29 |
公开(公告)号: | CN110657946B | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 李水艳 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00;G01N21/95 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 屏幕 缺陷 检测 系统 以及 方法 | ||
1.一种屏幕缺陷检测系统,其特征在于,包括电检模块和治具模块;
所述电检模块用于对待检屏幕进行图像采集;其中,所述图像采集包括调整所述待检屏幕和所述电检模块的相对位置,使得所述待检屏幕位于所述电检模块的焦面和离焦位置,以得到第一次图像采集结果、第二次图像采集结果和第三次图像采集结果中的一个或多个,并判断所述待检屏幕是否存在缺陷以及缺陷的类型;
所述治具模块上设置有待检屏幕设置区,所述待检屏幕设置区用于放置待检屏幕;
所述电检模块位于所述待检屏幕背离所述治具模块的一侧,且所述电检模块可围绕第一直线旋转;
所述治具模块可沿第二直线运动;
其中,所述第一直线与所述待检屏幕的显示面平行,所述第二直线与所述待检屏幕的显示面垂直,且所述第二直线穿过所述待检屏幕的几何中心。
2.根据权利要求1所述的屏幕缺陷检测系统,其特征在于,所述电检模块包括一个电检主视单元和至少一个电检侧视单元;
所述电检主视单元位于所述第二直线上;
所述电检侧视单元可围绕所述第一直线旋转。
3.根据权利要求2所述的屏幕缺陷检测系统,其特征在于,
所述电检主视单元和所述电检侧视单元包括相机、镜头以及固定支架,所述相机固定于所述固定支架上,所述相机与所述镜头连接。
4.根据权利要求3所述的屏幕缺陷检测系统,其特征在于,所述电检侧视单元还包括SC转接件;所述相机通过所述SC转接件与所述镜头连接。
5.根据权利要求3所述的屏幕缺陷检测系统,其特征在于,所述电检侧视单元中,所述固定支架包括弧形臂,所述弧形臂关于所述第二直线对称;
所述弧形臂包括凹陷的内壁和突出的外壁,所述内壁与所述治具模块相对,所述相机可滑动地设置于所述内壁上。
6.根据权利要求5所述的屏幕缺陷检测系统,其特征在于,所述电检侧视单元可围绕所述第二直线旋转;
所述电检侧视单元中,所述固定支架还包括第一转盘;
所述第一转盘设置于所述弧形臂的外壁上,所述第一转盘可绕所述第二直线旋转。
7.根据权利要求1所述的屏幕缺陷检测系统,其特征在于,
所述治具模块包括支撑平台和升降支架,所述支撑平台与所述升降支架相连,所述升降支架可沿所述第二直线进行升降运动;
所述待检屏幕设置区位于所述支撑平台上。
8.根据权利要求7所述的屏幕缺陷检测系统,其特征在于,
所述治具模块可围绕所述第二直线旋转;
所述治具模块还包括第二转盘,所述第二转盘位于所述支撑平台上,所述待检屏幕设置区位于所述第二转盘内,所述第二转盘可围绕所述第二直线旋转。
9.根据权利要求1所述的屏幕缺陷检测系统,其特征在于,还包括光照模块;
所述光照模块包括多个第一光源和多个第二光源,所述第一光源和所述第二光源均位于所述待检屏幕与所述电检模块之间,且所述第一光源距所述待检屏幕之间的距离小于所述第二光源距所述待检屏幕之间的距离。
10.根据权利要求9所述的屏幕缺陷检测系统,其特征在于,
所述第一光源和所述第二光源均位于所述电检模块成像视场之外;且,
所述第一光源和所述第二光源关于所述待检屏幕的镜面像均位于所述电检模块成像视场之外。
11.一种屏幕检测线,其特征在于,包括多个工位,权利要求1-10任一项所述的屏幕缺陷检测系统集成于至少一个所述工位。
12.根据权利要求11所述的屏幕检测线,其特征在于,包括第一工位和第二工位;
所述电检模块包括一个电检主视单元和至少一个电检侧视单元;其中,所述第一工位中集成有所述电检主视单元和所述治具模块,所述第二工位中集成有所述电检侧视单元和所述治具模块。
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