[发明专利]涂胶显影设备

说明书

本申请公开了一种涂胶显影设备，属于机械技术领域。该涂胶显影设备中的预烘烤单元与曝光单元通过目标传输单元连接，目标传输单元包括：依次设置的第一传输模块和第二传输模块，且第二传输模块靠近曝光单元设置，预烘烤单元与第二传输模块叠加设置；第一传输模块用于将预烘烤单元处理后的基板传输至第二传输模块，第二传输模块用于将基板传输至曝光单元。本申请解决了预烘烤单元处理后的基板在曝光单元前堆积的问题，避免了预烘烤单元处理后的基板在曝光单元前堆积，本申请用于涂胶显影设备。

技术领域

本申请涉及机械技术领域，特别涉及一种涂胶显影设备。

背景技术

随着电子时代的到来，液晶显示器的需求量逐渐增大，而涂胶显影设备是制作液晶显示器的重要装置。

涂胶显影设备需要具有清洗、涂胶、干燥、烘烤、曝光和显影等功能。现有的涂胶显影设备通常包括用于实现上述多个功能的多个单元，例如：预烘烤单元用于实现烘烤功能，曝光单元用于实现曝光功能。

相关技术中由于设备场地限制，预烘烤单元与曝光单元之间的距离较短，因此，预烘烤单元处理后的基板较容易在曝光单元前堆积。

发明内容

本申请提供了一种涂胶显影设备，可以解决预烘烤单元处理后的基板在曝光单元前堆积的问题，所述技术方案如下：

提供了一种涂胶显影设备，所述涂胶显影设备中的预烘烤单元与曝光单元通过目标传输单元连接，

所述目标传输单元包括：依次设置的第一传输模块和第二传输模块，且所述第二传输模块靠近所述曝光单元设置，所述预烘烤单元与所述第二传输模块叠加设置；

所述第一传输模块用于将所述预烘烤单元处理后的基板传输至所述第二传输模块，所述第二传输模块用于将所述基板传输至所述曝光单元。

可选的，所述涂胶显影设备包括：沿第一方向依次排布的第一设备组件、第二设备组件和第三设备组件；

所述第一设备组件包括：沿与所述第一方向垂直的第二方向依次排布的清洗单元、涂胶单元、第一传输单元和干燥单元；

所述第二设备组件包括：沿所述第二方向依次排布的第二传输单元、目标单元和所述曝光单元，其中，所述第二传输单元与所述清洗单元对应设置，所述目标单元包括：所述预烘烤单元、所述目标传输单元和第三传输单元，所述第三传输单元和所述预烘烤单元均叠加在所述第二传输模块上，且所述预烘烤单元与所述曝光单元的距离大于所述涂胶单元与所述曝光单元的距离；

所述第三设备组件包括：沿所述第二方向依次排布的显影单元和打码单元；

所述第一传输单元用于将所述涂胶单元处理后的基板传输至所述干燥单元，以及将所述干燥单元处理后的基板传输至所述第三传输单元，所述第三传输单元用于将所述基板传输至所述预烘烤单元，所述第二传输模块还用于将所述曝光单元处理后的基板传输至所述打码单元，所述第二传输单元用于将所述显影单元处理后的基板输出所述涂胶显影设备。

可选的，所述第一传输模块包括：第一机械手，所述第二传输模块包括：第一传送带和第二机械手，所述第二设备组件还包括：冷却单元，所述冷却单元与所述预烘烤单元沿所述第二方向依次排布，且所述冷却单元、所述预烘烤单元以及所述第三传输单元均叠加在所述第一传送带上，所述冷却单元用于对所述预烘烤单元处理后的基板进行冷却处理；

所述第一机械手用于将所述冷却单元处理后的基板传输至所述第一传送带，所述第一传送带用于将所述基板传输至所述第二机械手；

所述第二机械手用于将所述基板传输至所述曝光单元，以及将所述曝光单元处理后的所述基板传输至所述打码单元。

可选的，所述第二设备组件还包括：第一缓存单元，