[发明专利]涂胶显影设备

权利要求书

1.一种涂胶显影设备，其特征在于，所述涂胶显影设备中的预烘烤单元与曝光单元通过目标传输单元连接，

所述目标传输单元包括：依次设置的第一传输模块和第二传输模块，所述第二传输模块包括：第一传送带和第二机械手，所述第二机械手用于将基板传输至所述曝光单元，以及将所述曝光单元处理后的所述基板传输至打码单元，且所述第二传输模块靠近所述曝光单元设置，所述预烘烤单元叠加在所述第一传送带上；所述第一传输模块包括：第一机械手，第二设备组件包括：冷却单元，所述冷却单元与所述预烘烤单元沿第二方向依次排布，且所述冷却单元、所述预烘烤单元以及第三传输单元均叠加在所述第一传送带上，所述冷却单元用于对所述预烘烤单元处理后的基板进行冷却处理；所述第一机械手用于将所述冷却单元处理后的基板传输至所述第一传送带，所述第一传送带用于将所述基板传输至所述第二机械手；所述冷却单元、所述烘烤单元和所述第三传输单元沿所述第二方向依次设置；

所述第一传输模块用于将所述预烘烤单元处理后的基板传输至所述第二传输模块，所述第二传输模块用于将所述基板传输至所述曝光单元；

所述涂胶显影设备包括：沿第一方向依次排布的第一设备组件、所述第二设备组件和第三设备组件；

所述第一设备组件包括：沿与所述第一方向垂直的第二方向依次排布的清洗单元、涂胶单元、第一传输单元和干燥单元；

所述第二设备组件还包括：沿所述第二方向依次排布的第二传输单元、目标单元和所述曝光单元，其中，所述第二传输单元与所述清洗单元对应设置，所述目标单元包括：所述预烘烤单元、所述目标传输单元和所述第三传输单元，所述预烘烤单元与所述第三传输单元沿第二方向依次设置，所述第三传输单元和所述预烘烤单元均叠加在所述第一传送带上，且所述预烘烤单元与所述曝光单元的距离大于所述涂胶单元与所述曝光单元的距离；

所述第三设备组件包括：沿所述第二方向依次排布的显影单元和打码单元；

所述第一传输单元位于所述涂胶单元和所述干燥单元之间，所述第一传输单元用于将所述涂胶单元处理后的基板传输至所述干燥单元，以及将所述干燥单元处理后的基板传输至所述第三传输单元，所述第三传输单元用于将所述基板传输至所述预烘烤单元，所述第二传输模块还用于将所述曝光单元处理后的基板传输至所述打码单元，所述第二传输单元用于将所述显影单元处理后的基板输出所述涂胶显影设备。

2.根据权利要求1所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第二设备组件还包括：第一缓存单元，

所述第一缓存单元设置在所述第二传输单元和所述第一机械手之间，所述第一机械手还用于将所述冷却单元处理后的基板传输至所述第一缓存单元，以及将所述第一缓存单元中的基板传输至所述第一传送带。

3.根据权利要求1或2所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第一传输单元包括：第三机械手，所述第三传输单元包括：第一旋转盘和第二传送带，且所述第二传送带与所述预烘烤单元连接；

所述第三机械手用于将所述涂胶单元处理后的基板传输至所述干燥单元，以及将所述干燥单元处理后的基板传输至所述第一旋转盘；所述第一旋转盘用于将基板旋转90度，并将旋转90度的基板传输至所述第二传送带；所述第二传送带用于将旋转90度后的基板传输至所述预烘烤单元。

4.根据权利要求1所述的涂胶显影设备，其特征在于，所述第一设备组件还包括：沿所述第一方向叠加设置的入口单元和出口单元，且所述入口单元设置在所述清洗单元远离所述涂胶单元的一侧，

所述入口单元用于向所述清洗单元输入基板，所述第二传输单元用于将所述显影单元处理后的基板传输至所述出口单元，以将所述基板输出所述涂胶显影设备。