[发明专利]一种低金金合金键合丝及其制造方法

权利要求书

1.一种低金金合金键合丝，其特征在于按重量计含有Pd 0.8-4%，Ag 35-49%，Pt 0.5-3%，微量添加元素30-100 ppm，余量为金；所述微量添加元素是In、Co、Ga、Mg、Ca、Ce和Ni中的一种或其中两种以上的组合。

2.根据权利要求1所述的低金金合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素含有10-80ppm的Ca、10-80ppm的Mg和10-80ppm的Ce。

3.根据权利要求1所述的低金金合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素含有30-100ppm的Ca。

4.根据权利要求1所述的低金金合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素含有20-50ppm的Ce和10-80ppm的Ca。

5.根据权利要求1所述的低金金合金键合丝，其特征是：所述微量添加元素含有10-80ppm的Ni、10-80ppm的Ca和10-80ppm的Co。

6.根据权利要求1所述的低金金合金键合丝，其特征是：上述微量添加元素含有20-50ppm的Ga和20-50ppm的Ca。

7.权利要求1-6任一项所述的低金金合金键合丝的制造方法，其特征在于包括下述步骤：

（1）熔铸：按比例将Pd、Ag、Pt和微量添加元素加入到金原料中，经过真空熔炼和定向连续引铸工艺，获得直径为6-8毫米的线材；

（2）拉丝：对步骤（1）得到的线材进行拉丝，获得直径为0.08-0.5mm的键合丝半成品；

（3）对步骤（2）得到键合丝半成品继续进行拉丝，获得直径为15-50 um的金合金键合丝；

在拉丝过程中对键合丝半成品进行若干次中间退火，在退火过程中采用N₂做为退火气氛，退火炉有效长度为600-2000mm，退火温度为500-800℃，退火速率为30-100m/min；

（4）最后退火：步骤（3）拉丝完成后，对金合金键合丝进行最后退火，在退火过程中采用N₂来做为退火气氛，退火炉有效长度为600-1000mm，退火温度为300-800℃，退火速率为60-120m/min；

（5）冷却：最后退火结束后，将金合金键合丝冷却至20-30℃，得到所需的低金金合金键合丝。