[发明专利]柔性AMOLED显示面板及其制造方法在审

申请号：	201810698135.8	申请日：	2018-06-29
公开（公告）号：	CN108899340A	公开（公告）日：	2018-11-27
发明（设计）人：	白思航	申请（专利权）人：	武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号：	H01L27/32	分类号：	H01L27/32;H01L21/77
代理公司：	广州三环专利商标代理有限公司 44202	代理人：	郝传鑫;熊永强
地址：	430070 湖北省武汉市东湖新技术***	国省代码：	湖北;42
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摘要：
搜索关键词：	缓冲层阶梯槽介电层缓冲区基板栅极绝缘层非显示区绑定区基板连接间隔设置阶梯结构依次层叠槽侧壁金属层金属区显示区凹设底壁覆盖制造
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【权利要求书】：

1.一种柔性AMOLED显示面板，其特征在于，包括基板，所述基板包括显示区和非显示区，位于所述非显示区上，所述基板上依次层叠有缓冲层、栅极绝缘层及介电层以及由所述介电层向所述缓冲层凹设的阶梯槽，所述阶梯槽的两个相对槽侧壁的为所述缓冲层、栅极绝缘层、介电层形成的阶梯结构，所述阶梯槽的底壁为所述缓冲层凹设形成，所述介电层上及阶梯槽内还层叠有金属走线层，所述金属走线层覆盖所述介电层和阶梯槽的底壁和槽侧壁。

2.根据权利要求1所述的柔性AMOLED显示面板，其特征在于，所述阶梯槽的底壁上设有多个间隔的缺口，所述金属走线层的走线包括多个间隔通孔，所述缺口与所述通孔相对且贯通。

3.根据权利要求2所述的柔性AMOLED显示面板，其特征在于，所述栅极绝缘层上凹设有第一通槽，介电层上凹设有第三通槽和位于第三通槽内的第二通槽，所述凹槽、第一通槽，第二通槽和第三通槽沿着垂直所述基板的方向依次连通形成所述阶梯槽；露出所述第一通槽的缓冲层为第一台阶，露出所述第二通槽的栅极绝缘层为第二台阶，露出第三通槽的部分介质层为第三台阶，所述介质层与金属层连接的部分为第四台阶，所述金属层覆盖所述第一台阶、第二台阶、第三台阶及第四台阶。

4.根据权利要求1所述的柔性AMOLED显示面板，其特征在于，所述基板包括两层柔性材料层和层叠于两层柔性材料层之间的隔热层。

5.根据权利要求1所述的柔性AMOLED显示面板制作方法，其特征在于，所述阶梯槽的底壁的厚度为200nm。

6.一种柔性AMOLED显示面板制作方法，其特征在于，包括在基板上依次形成缓冲层、栅极绝缘层和介电层；

通过图案化工艺在所述介电层上形成第三通槽，其中第三通槽贯穿部分介电层；

对露出所述第三通槽的另一部分介电层进行图案化，形成贯穿介电层的第二通槽；

对露出所述第二通槽的栅极绝缘层进行图案化，在所述栅极绝缘层上形成第一通槽；

对露出所述第一通槽的缓冲层进行图案化，在所述缓冲层上形成凹槽，其中凹槽的底壁为部分缓冲层，所述凹槽、第一通槽、第二通槽、第三通槽形成阶梯槽；

在所述阶梯槽内及介电层上形成金属走线层，其中所述金属走线层的走线设有多个通孔，

对位于露出所述通孔的凹槽的底壁进行光罩，形成多个间隔设置的缺口。

7.根据权利要求6所述的柔性AMOLED显示面板制作方法，其特征在于，对露出所述第一通槽的缓冲层进行图案化，在所述缓冲层上形成凹槽的步骤中，所述凹槽的底壁为被图案化后剩余的缓冲层，其厚度为200nm。

8.根据权利要求6所述的柔性AMOLED显示面板制作方法，其特征在于，所述金属层上还形成有封装层，所述封装层覆盖所述金属走线层及所述底壁的缺口。

9.根据权利要求6所述的柔性AMOLED显示面板制作方法，其特征在于，所述栅极绝缘层包括层叠设置的第一栅极绝缘层和第二栅极绝缘层。