[发明专利]一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法

说明书

本发明属于电加热领域，具体涉及一种曲面玻璃真空柔性加热方法。本发明采用在柔性加热膜或柔性加热套能贴合各种异型玻璃进行曲面加热，使得在大型曲面玻璃上进行高温镀膜不再受限于形状和尺寸。柔性加热的优势在于可实现均匀、可控的加热，解决了其他加热方法中存在的加热不均匀、温度控制不准确问题，保证了高温镀膜的质量。本发明有益效果还在于其中涉及的装置和方法可推广至其他镀膜设备，如电子束蒸镀，热喷涂等镀膜设备，同时还能原位对生长于基材的薄膜进行真空热处理。

技术领域

本发明属于电加热领域，具体涉及一种曲面玻璃真空柔性加热方法。

背景技术

在工业生产中，常常需要给曲面玻璃进行镀膜。大型磁控溅射镀膜仪、热蒸镀、电子束蒸镀等镀膜设备是常用的镀膜设备。已有的研究表明，提高基材的温度能够有效去除表面的水汽，同时提高薄膜的生长质量。通常镀膜设备的基材加热装置都集成在基片台，仅对面积较小的平面件具有加热效果，但对汽车、航天航空领域用到的各种异型曲面玻璃基材的不适用。在镀制大型曲面玻璃时，往往需要对整体镀膜设备进行加热，耗费大量资源和有可能造成安全隐患，同时存在加热不均匀，温度控制不均匀等情况。为此，针对大型曲面玻璃基材，研究一种具有简单的、普适性的真空柔性加热方法很有必要。

发明内容

本发明的目的是克服曲面玻璃难以实现高温镀膜的问题，提出一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法。

本发明的技术解决方案是，加热方法为如下之一：

1)采用柔性加热膜无缝贴合于玻璃背面，放入真空室内，并将柔性加热膜上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，柔性加热膜的加热温度区间为50～180℃，真空腔体抽真空；在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜；需要时，可在基材周边布置温度传感器，增强对加热温度的准确监控。

2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面并与玻璃良好贴合，将可拆卸式柔性加热套上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，可拆卸式柔性加热套的加热温度区间约为180～350℃，真空腔体抽真空；在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜。

所述柔性加热膜包括但不限于聚酰亚胺柔性加热膜。需要时，可在基材周边布置温度传感器，增强对加热温度的准确监控。

所述可拆卸式柔性加热套包括但不限于玻璃纤维包覆的电阻丝等耐高温柔性加热装置。

所述真空加热方法不仅适用于磁控溅射高温镀膜，也适用于各种需要对曲面玻璃真空加热的装置，如热蒸镀、电子束蒸镀，同时还能原位对生长于基材的薄膜进行真空热处理。

本发明具有的优点在柔性加热膜或柔性加热套能贴合各种异型玻璃进行曲面加热，使得在大型曲面玻璃上进行高温镀膜不再受限于形状和尺寸。柔性加热的优势在于可实现均匀、可控的加热，解决了其他加热方法中存在的加热不均匀、温度控制不准确问题，保证了高温镀膜的质量。本发明有益效果还在于其中涉及的装置和方法可推广至其他镀膜设备，如电子束蒸镀，热喷涂等镀膜设备，同时还能原位对生长于基材的薄膜进行真空热处理。

附图说明

图1曲面玻璃真空柔性加热示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施方式作进一步的详细说明

本发明提供的一种曲面玻璃真空柔性加热的方法，具体有以下两种实施方式：

1)采用柔性加热膜贴于玻璃背面，与玻璃实现无缝贴合，该方法适合的加热温度区间约为50～180℃；

2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面，与玻璃实现良好贴合。由于可拆卸式柔性加热所用的电阻丝外包裹的是耐高温的玻璃纤维，因此该方法适合的加热温度区间约为180～350℃。