[发明专利]一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法

权利要求书

1.一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，加热方法为如下之一：

1)采用柔性加热膜无缝贴合于玻璃背面，放入真空室内，并将柔性加热膜上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，柔性加热膜的加热温度区间为50～180℃，真空腔体抽真空；当同时需要对曲面玻璃镀膜时，在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜；

2)采用可拆卸式柔性加热套固定于玻璃背面并与玻璃良好贴合，将可拆卸式柔性加热套上的引出导线通过真空法兰与外接电源连接，可拆卸式柔性加热套的加热温度区间约为180～350℃，真空腔体抽真空；当同时需要对曲面玻璃镀膜时，在镀膜前，通过外部的温控仪对玻璃温度进行调节，设定镀膜温度后，待温度稳定在镀膜温度后即可镀膜。

2.根据权利要求1所述的一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，所述柔性加热膜为聚酰亚胺柔性加热膜。

3.根据权利要求1所述的一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，所述可拆卸式柔性加热套为玻璃纤维包覆的电阻丝耐高温柔性加热装置。

4.根据权利要求1所述的一种用于曲面玻璃真空柔性加热的方法，其特征是，所述真空加热方法不仅适用于磁控溅射高温镀膜，也适用于各种需要对曲面玻璃真空加热的装置，热蒸镀或电子束蒸镀，同时还能对生长于玻璃的薄膜进行真空热处理。