[发明专利]静电放电保护电路在审
申请号: | 201810691993.X | 申请日: | 2018-06-28 |
公开(公告)号: | CN108878416A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 贺吉伟;周俊 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 静电放电保护电路 电源端 接地端 电容 电阻 防静电性能 触发电路 触发电压 电容连接 电阻连接 源极连接 栅极电压 漏极 响应 | ||
本发明公开了一种静电放电保护电路,所述静电放电保护电路包括NMOS管、电容和电阻;所述NMOS管的栅极通过所述电容连接到电源端,所述NMOS管的栅极通过所述电阻连接到接地端,所述NMOS管的源极连接电源端,所述NMOS管的漏极连接接地端。则所述静电放电保护电路相当于在所述NMOS管的栅极增加一电容和电阻的触发电路,可以有助于提高栅极电压并降低ESD保护电路在工作状态时的触发电压,且提升ESD保护电路的响应速度,从而大大提高ESD保护电路的防静电性能。
技术领域
本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种静电放电保护电路。
背景技术
集成电路容易受到静电的破坏,一般在电路的输入输出端或电源保护装置中都会设计静电放电(Electro-Static discharge,ESD)保护电路以防止内部电路因静电而受损坏。目前,经常采用GGNMOS(Gate Grounded NMOS,栅极接地N型金属氧化物半导体)作为静电放电保护电路。
然而,在现有技术中,因GGNMOS结构本身的触发电压偏高,ESD保护电路的响应速度慢,则ESD保护能力欠佳。
因此,针对上述技术问题,有必要提供一种改进的静电放电保护电路。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种静电放电保护电路,其触发电压较低且响应速度较快,可以提高ESD保护电路的性能。
为解决上述技术问题,本发明提供的静电放电保护电路,包括:NMOS管、电容和电阻;所述NMOS管的栅极通过所述电容连接到电源端,所述NMOS管的栅极通过所述电阻连接到接地端,所述NMOS管的源极连接电源端,所述NMOS管的漏极连接接地端。
进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电容为PMOS管,其中,所述PMOS管的栅极作为所述电容的一端与所述NMOS管的栅极相连,所述PMOS管的源极、漏极和阱三端短接作为所述电容的另一端接电源端。
进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述PMOS管的阱与所述NMOS管的阱在工作状态时形成反向PN结隔离。
可选的,在所述的静电放电保护电路中,所述电阻为P型多晶硅电阻。
进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述P型多晶硅电阻的宽度在0.5微米至1微米之间。
进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电阻和所述电容的时间常数在10纳秒至500纳秒之间。
进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电阻和所述电容的时间常数为100纳秒。
进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电阻的阻值在20千欧至500千欧之间。
进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电容的电容值在0.2皮法至5皮法之间。
与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
本发明的静电放电保护电路包括NMOS管、电容和电阻;所述NMOS管的栅极通过所述电容连接到电源端,所述NMOS管的栅极通过所述电阻连接到接地端,所述NMOS管的源极连接电源端,所述NMOS管的漏极连接接地端。则所述静电放电保护电路相当于在所述NMOS管的栅极增加一电容和电阻的触发电路,可以有助于提高栅极电压并降低ESD保护电路在工作状态时的触发电压,且提升ESD保护电路的响应速度,从而大大提高ESD保护电路的防静电性能。
附图说明
图1为本发明实施例中提供的一种静电放电保护电路的连接结构示意图;
图2为本发明实施例中所述静电放电保护电路内部的剖面结构示意图。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的