[发明专利]静电放电保护电路在审

专利信息
申请号: 201810691993.X 申请日: 2018-06-28
公开(公告)号: CN108878416A 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 贺吉伟;周俊 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 静电放电保护电路 电源端 接地端 电容 电阻 防静电性能 触发电路 触发电压 电容连接 电阻连接 源极连接 栅极电压 漏极 响应
【说明书】:

发明公开了一种静电放电保护电路,所述静电放电保护电路包括NMOS管、电容和电阻;所述NMOS管的栅极通过所述电容连接到电源端,所述NMOS管的栅极通过所述电阻连接到接地端,所述NMOS管的源极连接电源端,所述NMOS管的漏极连接接地端。则所述静电放电保护电路相当于在所述NMOS管的栅极增加一电容和电阻的触发电路,可以有助于提高栅极电压并降低ESD保护电路在工作状态时的触发电压,且提升ESD保护电路的响应速度,从而大大提高ESD保护电路的防静电性能。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种静电放电保护电路。

背景技术

集成电路容易受到静电的破坏,一般在电路的输入输出端或电源保护装置中都会设计静电放电(Electro-Static discharge,ESD)保护电路以防止内部电路因静电而受损坏。目前,经常采用GGNMOS(Gate Grounded NMOS,栅极接地N型金属氧化物半导体)作为静电放电保护电路。

然而,在现有技术中,因GGNMOS结构本身的触发电压偏高,ESD保护电路的响应速度慢,则ESD保护能力欠佳。

因此,针对上述技术问题,有必要提供一种改进的静电放电保护电路。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种静电放电保护电路,其触发电压较低且响应速度较快,可以提高ESD保护电路的性能。

为解决上述技术问题,本发明提供的静电放电保护电路,包括:NMOS管、电容和电阻;所述NMOS管的栅极通过所述电容连接到电源端,所述NMOS管的栅极通过所述电阻连接到接地端,所述NMOS管的源极连接电源端,所述NMOS管的漏极连接接地端。

进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电容为PMOS管,其中,所述PMOS管的栅极作为所述电容的一端与所述NMOS管的栅极相连,所述PMOS管的源极、漏极和阱三端短接作为所述电容的另一端接电源端。

进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述PMOS管的阱与所述NMOS管的阱在工作状态时形成反向PN结隔离。

可选的,在所述的静电放电保护电路中,所述电阻为P型多晶硅电阻。

进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述P型多晶硅电阻的宽度在0.5微米至1微米之间。

进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电阻和所述电容的时间常数在10纳秒至500纳秒之间。

进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电阻和所述电容的时间常数为100纳秒。

进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电阻的阻值在20千欧至500千欧之间。

进一步的,在所述的静电放电保护电路中,所述电容的电容值在0.2皮法至5皮法之间。

与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:

本发明的静电放电保护电路包括NMOS管、电容和电阻;所述NMOS管的栅极通过所述电容连接到电源端,所述NMOS管的栅极通过所述电阻连接到接地端,所述NMOS管的源极连接电源端,所述NMOS管的漏极连接接地端。则所述静电放电保护电路相当于在所述NMOS管的栅极增加一电容和电阻的触发电路,可以有助于提高栅极电压并降低ESD保护电路在工作状态时的触发电压,且提升ESD保护电路的响应速度,从而大大提高ESD保护电路的防静电性能。

附图说明

图1为本发明实施例中提供的一种静电放电保护电路的连接结构示意图;

图2为本发明实施例中所述静电放电保护电路内部的剖面结构示意图。

具体实施方式

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