[发明专利]监控剥离液中胺类浓度变化的方法

说明书

本发明提供一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，通过酸碱滴定的原理来监控剥离液的碱度，从而监控剥离液中胺类浓度的变化，若发现剥离液的碱度改变到无法有效进行剥离的数值，工作人员可以及时进行调整，避免所述剥离液的胺类成分的损耗造成液晶显示面板的异常。

技术领域

本发明涉及液晶显示面板，尤其涉及一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法。

背景技术

薄膜晶体管(TFT，ThinFilmTransistor)是阵列基板的重要元件之一，薄膜晶体管技术是液晶显示技术的核心，对液晶显示面板的质量有着重大的影响。随着平板显示(FlatPanelDisplay，FPD)技术的发展，人们对显示器分辨率和画面刷新速率的追求越来越高，因此新材料和新工艺的发展也迫在眉睫。

目前，在液晶显示器(TFTLCD)的加工制造领域，导电层金属的材料主要以铝和钼为主，铝和钼的优点在于成膜工艺简单，黏附性和平坦性较好，较柔软且不容易发生爬坡断线以及不容易扩散(扩散导致膜层污染)。对于小尺寸和低分辨率的面板而言，铝是首选的理想导电金属材料。但由于铝的电阻率相对较大，因此对于大尺寸和高分辨率面板而言，就不能满足需求了。

作为导电金属材料，铜的导电率要远远优于铝，对于15.0寸的UXGA(UltraeXtendedGraphicsArray)显示屏，采用铜取代铝作为导电金属材料，其面板分辨率可以提升35.2％，亮度可以提高32％，同时画面闪烁(flicker)和线负载都能大大降低。因此，针对目前高分辨率面板的市场需求，将使用铜取代铝应用到未来的显示面板中。

在基底上制作薄膜晶体管的金属走线时，由于铜的电阻率较小，更适合用于制作大尺寸液晶显示装置的金属线电路，因此一般采用铜材料制作薄膜晶体管的电极。而在采用铜材料制作薄膜晶体管的电极或金属线电路时，均需要进行图案化，然后采用剥离液对图案以外的铜材料进行剥离去除，随着越来越多新技术和新工艺，不同浓度的胺类成分的剥离液对铜的剥离效果和效率均不同，而现有技术中未有任何方法可以确认剥离液的胺类浓度在使用过程中是否发生变化，当剥离液的胺类浓度下降到一定数值而无法保证剥离效果和效率时，容易造成剥离异常，进而造成液晶显示面板异常，为了避免采用不同浓度的胺类成分的剥离液进行剥离制程而造成液晶显示面板异常，亟需一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，能够监控剥离液中胺类浓度的变化，避免剥离液的胺类成分的损耗造成液晶显示面板的异常。

为实现上述目的，本发明提供了一种监控剥离液中胺类浓度变化的方法，包括以下步骤：提供剥离标准液，所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，分别测定所述第一、第二剥离标准液的碱度，确认出所述剥离标准液的碱度区间；提供剥离液，测定所述剥离液的碱度，确认所述剥离液的碱度是否在所述剥离标准液的碱度区间内；

所述第一、第二剥离标准液与所述剥离液均包括胺类成分，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度，所述第一剥离标准液的碱度大于所述第二剥离标准液的碱度。

所述监控剥离液中胺类浓度变化的方法具体包括以下步骤：

步骤1、提供测试液、取样容器及标准滴定溶液，所述标准滴定溶液为强酸，所述标准滴定溶液的酸度系数为1-4，所述标准滴定溶液的浓度为Ymol/L；

所述测试液包括剥离标准液和剥离液；所述剥离标准液包括第一、第二剥离标准液，所述第一剥离标准液的胺类浓度大于所述第二剥离标准液的胺类浓度；

步骤2、移取所述测试液X mL于所述取样容器中得到液样，使用所述标准滴定溶液对所述取样容器中的液样进行酸碱滴定至终点，记录消耗所述标准滴定溶液的体积V_m，重复上述操作m次；