[发明专利]一种气体中除硅粉的方法及该方法所采用的气体过滤器

说明书

本发明涉及工业生产中粉尘过滤技术领域，尤其涉及一种空气中除硅粉的方法及该方法所采用的空气过滤器。一种空气过滤器，包括过滤器本体；所述过滤器本体包括筒体，筒体内部构成气体流通的气道；所述筒体内部设有能对混合气体扰流并吸附凝结固体物的滤芯，以及用于对滤芯降温冷却的冷凝组件。该空气过滤器有利保证了单晶炉在连续作业时，不纯物混合气体的稳定排出，极大的的提高了产品纯度与质量，达到混合气体的除尘效果，极大的延长了真空油的更换周期及真空泵的使用寿命。

技术领域

本发明涉及工业生产中粉尘过滤技术领域，尤其涉及一种气体中除硅粉的方法及该方法 所采用的气体过滤器。

背景技术

单晶硅、多晶硅工业生产中会产生混合杂质气体(杂质主要为硅粉尘)，该混合杂质气体 需经过除尘工序，参见公开号为“CN102583281A”的中国发明专利公开文本。目前现有的工业 除尘器按除尘作用力原理可分为“干式”和“湿式”两种类型。干式除尘以工作原理分：重 力式、惯性式、离心式、袋式振动、静电式等；湿式除尘是通过喷淋液体进行除尘。

考虑到现有过滤器所使用工况，未冷却的硅粉尘极其细小，质量极轻，容易漂浮在空间 中增大空间内的粉尘密度，且氩气流量每分钟仅100ml，流速极小，除尘器选型受物理条件 过多，且还会因粉尘的比电阻等性质影响除尘效率，使用湿式除尘可能会引起水汽进入真空 泵而影响真空泵的使用寿命，袋式除尘器虽可捕集细小、干燥的粉尘，除尘效率也很高，但 随着有限的容器空间中，粉尘密度的持续增加，滤孔容易堵塞，导致单晶炉出气流量降低， 降低了单晶炉的生产产能。

故基于上述现有技术的不足之处，对现有气体过滤器进行改进，以期得到适用于单晶硅、 多晶硅工业生产中进行除尘的过滤器。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的第一目的在于提供一种气体过滤器，该气体过滤器有利保 证了单晶炉在连续作业时，不纯物混合气体的稳定排出，极大的的提高了产品纯度与质量， 达到混合气体的除尘效果，极大的延长了真空油的更换周期及真空泵的使用寿命。本发明的 第二目的是提供一种气体中除硅粉的方法，该气体中除硅粉的方法运用上述气体过滤器，能 够有效除去混合气体中的硅粉尘。

为了实现上述的目的，本发明采用了以下的技术方案：

一种气体过滤器，包括过滤器本体；所述过滤器本体包括筒体，筒体内部构成气体流通 的气道；其特征在于：所述筒体内部设有能对混合气体扰流并阻隔凝结固体物的滤芯，以及 用于对滤芯降温冷却的冷凝组件。

作为优选，所述滤芯是钢丝球滤芯。该技术方案所采用钢丝球滤芯，钢丝球滤芯无序的 排列结构及滤孔粗大，气体在流向过程中产生会无规则的乱流，有效保证了气流在除尘过程 中不会被阻隔流量，保持工作的稳定，避免过滤过程中不会因为堵塞滤孔而造成流速降低， 影响生产效率的问题；同时，气流与钢丝球滤芯接触面积增大，增强气体冷却效果。

作为优选，所述冷凝组件是冷凝盘管，冷凝盘管沿筒体轴向盘旋设置。该方案采用冷凝 盘管这种方式进行水冷，在轴向方向其可冷却的路径较长，适用于较大过滤路径的滤芯；而 其截面方向上占用面积较小，对气体的过滤效率不会产生太大影响。

作为优选，所述冷凝盘管的进水口开设在筒体侧壁的下端部上，出水口开设在筒体侧壁 的上端部上。

作为优选，所述冷凝组件和滤芯在筒体截面方向上布满所述气道。

作为优选，所述冷凝组件上方的筒体内部还设有过滤网，该过滤网的网孔孔径小于滤芯 的滤孔孔径。该技术方案中，过滤网对于气体进行精滤工序，避免经过冷凝阻隔后的气体中 还存在些许极其微小的尘粒，在滤芯的上方布置一层10um过滤精度的过滤网布，当尘粒尺 寸大于纤维网眼时，尘粒被阻留在滤网表面。