[发明专利]一种气体中除硅粉的方法及该方法所采用的气体过滤器

权利要求书

1.一种气体过滤器，包括过滤器本体；所述过滤器本体包括筒体，筒体内部构成气体流通的气道；其特征在于：所述筒体内部设有能对混合气体扰流并阻隔凝结固体物的滤芯，以及用于对滤芯降温冷却的冷凝组件。

2.根据权利要求1所述的一种气体过滤器，其特征在于：所述滤芯是钢丝球滤芯。

3.根据权利要求1所述的一种气体过滤器，其特征在于：所述冷凝组件是冷凝盘管，冷凝盘管沿筒体轴向盘旋设置。

4.根据权利要求3所述的一种气体过滤器，其特征在于：所述冷凝盘管的进水口开设在筒体侧壁的下端部上，出水口开设在筒体侧壁的上端部上。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的一种气体过滤器，其特征在于：所述冷凝组件和滤芯在筒体截面方向上布满所述气道。

6.根据权利要求1所述的一种气体过滤器，其特征在于：所述冷凝组件上方的筒体内部还设有过滤网，该过滤网的网孔孔径小于滤芯的滤孔孔径。

7.根据权利要求1所述的一种气体过滤器，其特征在于：所述筒体的下端开口上连接有进气端盖，进气端盖的内部设有浊气室，进气端盖的侧面上还设有与浊气室相通的清灰口和进气口，清灰口通过观察窗封闭；所述进气端盖的浊气室与筒体的气道之间固定有网隔层；所述冷凝组件和钢丝球滤芯的下端部承压在网隔层上。

8.根据权利要求1所述的一种气体过滤器，其特征在于：所述筒体上端开口上覆盖有出气端盖，出气端盖上设有出气口、真空接头，以及用于检测气道内部气压的真空负压表。

9.根据权利要求1所述的一种气体过滤器，其特征在于：所述过滤器本体安装在移动架上；移动架包括底架，以及下端部连接在底架上的若干支撑管，以及连接在支撑管上端部的抱箍；所述筒体外侧壁固定在抱箍上，底架的下端设有多个滚轮组件。

10.一种气体中除硅粉的方法，其特征在于：其使用如权利要求1～9中任一项所述的气体过滤器，并采用包括如下步骤：将含有硅粉尘的混合杂质气体通入气道，冷凝组件对滤芯降温冷却，混合杂质气体经过滤芯时产生无规则乱流，并经由滤芯降温而产生凝结固体物并吸附在滤芯上。