[发明专利]一种微小间距LED芯片及其制作方法在审
| 申请号: | 201810666611.8 | 申请日: | 2018-06-26 |
| 公开(公告)号: | CN108963050A | 公开(公告)日: | 2018-12-07 |
| 发明(设计)人: | 陈凯;徐亮;赵兵;吴亦容 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/00 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫 |
| 地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体层 焊料层 芯片 第二电极 绝缘层 扩散阻挡层 第一电极 钝化层 反射层 种子层 衬底 基板 源层 金属支持层 导电连接 热量传导 直接固定 热传导 有效地 分辨率 打线 制作 显示屏 融化 | ||
本发明提供了一种微小间距LED芯片及其制作方法。其中,LED芯片包括衬底,设于衬底上的第一半导体层,设于第一半导体层上的有源层和第一电极,设于有源层上的第二半导体层,设于第二半导体层上的反射层,设于反射层上的扩散阻挡层,设于扩散阻挡层上的钝化层,设于钝化层上的第二电极,设于第二电极上的绝缘层,设于绝缘层上的种子层,设于种子层上的金属支持层,设于第一电极和第二电极上的焊料层,所述焊料层的融化温度为200‑350℃。本发明通过焊料层可以直接固定芯片,将芯片与基板形成导电连接;进一步地,焊料层还能作为热传导,将芯片的热量传导到基板上,本发明的芯片不需要打线,有效地缩小了芯片之间的间距,提高显示屏的分辨率。
技术领域
本发明涉及发光二极管技术领域,尤其涉及一种微小间距LED芯片及其制作方法。
背景技术
LED(Light Emitting Diode,发光二极管)是一种利用载流子复合时释放能量形成发光的半导体器件,LED芯片具有耗电低、色度纯、寿命长、体积小、响应时间快、节能环保等诸多优势。
现在LED显示屏对分辨率的要求越来越高,如何缩小LED封装器件的间距,已经成为LED显示屏领域的热点问题。
传统的LED芯片主要通过锡膏焊和共晶焊的方式焊接在基板上。图1为正装LED芯片的焊接方式,正装LED芯片需要打线,占用空间大,不利于缩减LED芯片的封装间距。
公告号为CN104733600B的专利公开了一种倒装LED芯片及其制备方法,在芯片的P电极和N电极上形成一层锡膏层,由该方法制得的倒装芯片可直接压焊在封装基板上,简化了封装工艺,降低生产成本。其中,所述锡膏层的材料为下列合金中的一种:Sn63合金、Sn62合金、Sn60合金。由于该锡膏层的材料主要为Sn合金,因此该倒装LED芯片在压焊时,容易因为温度过高而导致死灯。
此外,上述专利采用植锡球法在未被金属阻挡层覆盖的P形焊接电极和N型焊接电极区域上形成一层锡膏层,该方法不能精准控制用于形成锡膏层的原料给量,控制锡膏层厚度,不能解决芯片在焊接过程中翘焊、虚焊、偏焊等不良情况,因此,上述专利需要在电极的边缘四周形成金属阻挡层,用于阻挡锡膏层,由于锡球对小间距的芯片造成挤压而发生短路。
进一步地,焊接时,对零部件放置所施加的压力,容易造成芯片损伤。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种微小间距LED芯片,可直接压焊在封装基板上,缩小焊接在封装基板上的芯片间距。
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种微小间距LED芯片的制作方法,提高焊接精准度、减轻零件施工压力的作用,同时准确控制焊料用量及芯片位置。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种微小间距LED芯片,包括衬底,设于衬底上的第一半导体层,设于第一半导体层上的有源层和第一电极,设于有源层上的第二半导体层,设于第二半导体层上的反射层,设于反射层上的扩散阻挡层,设于扩散阻挡层上的钝化层,设于钝化层上的第二电极,设于第二电极上的绝缘层,设于绝缘层上的种子层,设于种子层上的金属支持层,设于第一电极和第二电极上的焊料层,所述焊料层的融化温度为200-350℃,其中,第二电极贯穿所述钝化层并与扩散阻挡层导电连接。
作为上述方案的改进,所述焊料层的厚度为1-50微米。
作为上述方案的改进,所述焊料层的厚度为5-20微米。
作为上述方案的改进,所述焊料层的面积小于第一电极和/或第二电极的面积。
作为上述方案的改进,其面积不大于1200平方微米。
相应地,本发明还提高了一种微小间距LED芯片的制作方法,包括:
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