[发明专利]一种mini LED和micro LED的测试方法在审
申请号: | 201810660970.2 | 申请日: | 2018-06-25 |
公开(公告)号: | CN109065464A | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 朱浩;刘国旭 | 申请(专利权)人: | 易美芯光(北京)科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
地址: | 100176 北京市大兴区亦庄经济*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片测试台 测试 正电极条 电极条 测试芯片 测试效率 负电极条 批量测试 平行设置 芯片测试 芯片负极 芯片正极 传统的 对电极 电测 分选 通电 芯片 配备 | ||
本发明公开了一种mini LED和micro LED的测试方法,包括:S1 配备供测试的芯片测试台,芯片测试台表面包括至少一对电极条,每对电极条中包括平行设置的正电极条和负电极条;S2 将待测试mini LED或micro LED排列于芯片测试台上得到测试芯片阵列,其中,一颗mini LED或micro LED置于一对电极条上,且芯片正极与正电极条接触、芯片负极与正电极条接触;S3 对芯片测试台表面的电极条进行通电,实现测试芯片阵列的批量测试。简单方便,无需采用传统的逐个电测的方法进行测试分选,大大提高了芯片的测试效率。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种mini LED和micro LED的测试方法。
背景技术
Mini LED和micro LED作为新一代的显示技术,将LED结构进行微小化而来,继承了LED的特点,具备低功耗、高亮度、超高分辨率与色彩饱和度、反应速度快、超省点、寿命较长、效率较高等优点。
在制备mini LED和micro LED的过程中,通常来说,一片晶圆片上芯片的数量非常庞大,若使用传统的方法逐个对其进行测试分选,无疑会耗费大量的时间。
发明内容
本发明的目的是提供一种mini LED和micro LED的测试方法,有效解决现有技术中mini LED和micro LED测试效率低下的技术问题。
本发明提供的技术方案如下:
一种mini LED和micro LED的测试方法,包括:
S1配备供测试的芯片测试台,所述芯片测试台表面包括至少一对电极条,每对电极条中包括平行设置的正电极条和负电极条;
S2将待测试mini LED或micro LED排列于所述芯片测试台上得到测试芯片阵列,其中,一颗mini LED或micro LED置于一对电极条上,且芯片正极与正电极条接触、芯片负极与正电极条接触;
S3对芯片测试台表面的电极条进行通电,实现测试芯片阵列的批量测试。
进一步优选地,在步骤S3之后,还包括:
S4使用拍照设备记录测试芯片阵列的发光形貌图片;
S5根据记录发光形貌图片进行分析,并记录发光异常芯片的位置信息。
进一步优选地,在芯片测试台表面,每对电极条中正电极条和负电极条之间的距离与mini LED或micro LED中芯片正极和芯片负极之间的距离匹配。
进一步优选地,在芯片测试台表面,每对电极条上包括用于放置mini LED 或micro LED的标记信息,mini LED或micro LED根据该标记信息排列在电极条上。
本发明提供的mini LED和micro LED的测试方法,在芯片测试台上设置至少一对电极条,每对电极条上可放置多个待测试的mini LED或micro LED,以此形成测试芯片阵列,实现mini LED或micro LED的批量测试,之后通过拍照的方式得到芯片的发光形貌图片并以此进行分析,找出发光异常芯片所在位置,简单方便,无需采用传统的逐个电测的方法进行测试分选,大大提高了芯片的测试效率。
附图说明
下面将以明确易懂的方式,结合附图说明优选实施方式,对上述特性、技术特征、优点及实现方式予以进一步说明。
图1为本发明中mini LED和micro LED测试方法一种实施方式流程示意图;
图2为本发明一实例中芯片测试台表面包括两对电极条示意图;
图3为本发明一实例中芯片测试台表面形成2*2的测试芯片阵列示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造