[发明专利]废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法

说明书

本发明提供了一种废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法，其中，废气处理装置用于去除并回收废气中的砷，包括冷凝部和刮料部，冷凝部具有冷凝腔和与冷凝腔连通的进气口、排气口和排料口，冷凝部用于对由进气口通入冷凝腔内的废气进行降温，以使废气中处于气态的砷受冷凝结在冷凝腔的内壁面上形成固态砷，刮料部可转动地设置在冷凝腔内，且刮料部的部分表面与冷凝腔的内壁面抵接，刮料部转动而将固态砷刮落，被刮落的固态砷在刮料部转动推动作用下连续地向排料口处运动。本发明解决了现有技术中的废气处理装置在去除并回收废气中的砷时，经济成本过高的问题。

技术领域

本发明涉及废气处理技术领域，具体而言，涉及一种废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法。

背景技术

真空镀膜机产生的废气中含有砷颗粒，直接将废气中的砷排放至外部环境中，会导致污染环境，危害人类的身体健康。

现有技术中为解决这一技术问题，通常采用强氧化剂水溶液喷淋废气，并附加高速离心装置的方式来分离和收集废气中的砷，该方案需要消耗化学试剂，从而造成废气处理的经济成本较高，另外，该方案还会产生废水和含水废气，从而增加了废气处理的后续处理步骤，进一步地增加了废气处理的经济成本。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法，以解决现有技术中的废气处理装置在去除并回收废气中的砷时，经济成本过高的问题。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种废气处理装置，用于去除并回收废气中的砷，包括：冷凝部，冷凝部具有冷凝腔和与冷凝腔连通的进气口、排气口和排料口，冷凝部用于对由进气口通入冷凝腔内的废气进行降温，以使废气中处于气态的砷受冷凝结在冷凝腔的内壁面上形成固态砷；刮料部，刮料部可转动地设置在冷凝腔内，且刮料部的部分表面与冷凝腔的内壁面抵接，刮料部转动而将固态砷刮落，被刮落的固态砷在刮料部转动推动作用下连续地向排料口处运动。

进一步地，刮料部包括刮料螺旋杆，刮料螺旋杆为多个，各刮料螺旋杆均沿冷凝腔长度方向设置，相邻两个刮料螺旋杆接触设置，且相邻两个刮料螺旋杆的螺旋叶片交错设置。

进一步地，刮料螺旋杆为两个，冷凝腔包括相连通的两个子安装腔，且两个子安装腔的连通开口为沿冷凝腔的长度方向连续延伸的条形开口，各子安装腔的横截面形状均呈圆形，两个刮料螺旋杆一一对应地设置在两个子安装腔内。

进一步地，刮料部还包括轴承，各刮料螺旋杆的两端分别通过一个轴承与冷凝部连接，且轴承嵌设在冷凝部内。

进一步地，冷凝部还具有过流腔、进液口和排液口，其中，过流腔与冷凝腔间隔设置，进液口和排液口均与过流腔连通，冷媒依次流过进液口、过流腔和排液口，以控制冷凝腔内的温度。

进一步地，冷凝部包括：冷凝部本体，过流腔设置在冷凝部本体的内部；两个端盖，两个端盖可拆卸地盖设在冷凝部本体的两端，两个端盖和冷凝部本体共同围成冷凝腔。

进一步地，废气处理装置还包括驱动部，驱动部包括：安装板，安装板与冷凝部连接；驱动件，驱动件设置在安装板上，驱动件驱动主动齿轮转动，各刮料螺旋杆的靠近驱动件的一端均设置有一个与主动齿轮啮合的从动齿轮。

进一步地，排料口开设在冷凝部本体上，排料口在竖直方向上位于冷凝部本体的底部，且排料口位于冷凝部本体的远离驱动部的一端。

进一步地，刮料螺旋杆支撑设置在两个端盖之间，且刮料螺旋杆与端盖密封连接。

根据本发明的另一方面，提供了一种真空镀膜系统，包括：真空镀膜机，真空镀膜机具有废气排放口；废气处理装置，废气处理装置的进气口与排气口相连通，废气处理装置上述的废气处理装置。