[发明专利]废气处理装置、真空镀膜系统以及废气处理装置的操作方法

权利要求书

1.一种废气处理装置，用于去除并回收废气中的砷，其特征在于，包括：

冷凝部(10)，所述冷凝部(10)具有冷凝腔(11)和与所述冷凝腔(11)连通的进气口(12)、排气口(13)和排料口(14)，所述冷凝部(10)用于对由所述进气口(12)通入所述冷凝腔(11)内的所述废气进行降温，以使所述废气中处于气态的砷受冷凝结在所述冷凝腔(11)的内壁面上形成固态砷；

刮料部(20)，所述刮料部(20)可转动地设置在所述冷凝腔(11)内，且所述刮料部(20)的部分表面与所述冷凝腔(11)的内壁面抵接，所述刮料部(20)转动而将所述固态砷刮落，被刮落的所述固态砷在所述刮料部(20)转动推动作用下连续地向所述排料口(14)处运动。

2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述刮料部(20)包括刮料螺旋杆(21)，所述刮料螺旋杆(21)为多个，各所述刮料螺旋杆(21)均沿所述冷凝腔(11)长度方向设置，相邻两个所述刮料螺旋杆(21)接触设置，且相邻两个所述刮料螺旋杆(21)的螺旋叶片交错设置。

3.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于，所述刮料螺旋杆(21)为两个，所述冷凝腔(11)包括相连通的两个子安装腔(111)，且两个所述子安装腔(111)的连通开口为沿所述冷凝腔(11)的长度方向连续延伸的条形开口，各子安装腔(111)的横截面形状均呈圆形，两个所述刮料螺旋杆(21)一一对应地设置在两个所述子安装腔(111)内。

4.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于，所述刮料部(20)还包括轴承(22)，各所述刮料螺旋杆(21)的两端分别通过一个所述轴承(22)与所述冷凝部(10)连接，且所述轴承(22)嵌设在所述冷凝部(10)内。

5.根据权利要求2或3所述的废气处理装置，其特征在于，所述冷凝部(10)还具有过流腔(15)、进液口(16)和排液口(17)，其中，所述过流腔(15)与所述冷凝腔(11)间隔设置，所述进液口和所述排液口均与所述过流腔(15)连通，冷媒依次流过所述进液口(16)、所述过流腔(15)和所述排液口(17)，以控制所述冷凝腔(11)内的温度。

6.根据权利要求5所述的废气处理装置，其特征在于，所述冷凝部(10)包括：

冷凝部本体(18)，所述过流腔(15)设置在所述冷凝部本体(18)的内部；

两个端盖(19)，两个所述端盖(19)可拆卸地盖设在所述冷凝部本体(18)的两端，两个所述端盖(19)和所述冷凝部本体(18)共同围成所述冷凝腔(11)。

7.根据权利要求6所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置还包括驱动部(30)，所述驱动部(30)包括：

安装板(31)，所述安装板(31)与所述冷凝部(10)连接；

驱动件(32)，所述驱动件(32)设置在安装板(31)上，所述驱动件(32)驱动主动齿轮(33)转动，各所述刮料螺旋杆(21)的靠近所述驱动件(32)的一端均设置有一个与所述主动齿轮(33)啮合的从动齿轮(34)。

8.根据权利要求7所述的废气处理装置，其特征在于，所述排料口(14)开设在所述冷凝部本体(18)上，所述排料口(14)在竖直方向上位于所述冷凝部本体(18)的底部，且所述排料口(14)位于所述冷凝部本体(18)的远离驱动部(30)的一端。

9.根据权利要求6所述的废气处理装置，其特征在于，所述刮料螺旋杆(21)支撑设置在两个所述端盖(19)之间，且所述刮料螺旋杆(21)与所述端盖(19)密封连接。

10.一种真空镀膜系统，其特征在于，包括：

真空镀膜机，所述真空镀膜机具有废气排放口；

废气处理装置，所述废气处理装置的所述进气口(12)与所述排气口(13)相连通，所述废气处理装置为权利要求1至9中任一项所述的废气处理装置。

11.一种废气处理装置的操作方法，其特征在于，用于操作权利要求1至9中任一项所述的废气处理装置，包括如下步骤：

步骤S1，控制冷凝部(10)的冷凝腔(11)的温度低于砷的凝固点；

步骤S2，将废气由所述冷凝部(10)的进气口(12)通入所述冷凝腔(11)中，废气中处于气态的砷与所述冷凝腔(11)的内壁面接触并受冷凝结在所述冷凝腔(11)的内壁面上形成固态砷，处理后的废气由所述冷凝部(10)的排气口(13)排出至所述冷凝腔(11)外；

步骤S3，控制废气处理装置的驱动部(30)启动，所述驱动部(30)驱动刮料部(20)转动，所述刮料部(20)转动并将所述固态砷刮落，被刮落的所述固态砷在所述刮料部(20)转动推动作用下连续地向所述排料口(14)处运动，并由所述排料口(14)排出。