[发明专利]图像获取设备和图像获取方法

说明书

本发明提供一种图像获取设备和图像获取方法。该图像获取设备包括，具有按第一方向延伸并且不透射至少一部分入射光的多个非透射部的构件。所述多个非透射部按与所述第一方向交叉的第二方向以周期P的间隔布设。该图像获取设备还包括：第一照射单元；摄像单元，其经由所述构件对所照射的被检物的区域摄像；以及驱动单元，其在用于通过对第一照射单元照射的被检物摄像而获取一个图像的曝光期间，使构件和被检物相对地偏移。

技术领域

本公开的实施例的一个方面涉及诸如用于检查被检物的光学评价设备的图像获取设备，和用于获取被检物的图像以处理该图像的图像获取方法。

背景技术

作为用于对工件(该工件是具有光泽度的被检物)的表面上的缺陷进行检测的技术，日本专利No.5994419和No.4147682讨论了如下公知技术，即，使用通过周期性的条纹图案发射光的光源来照射工件并且使用照相机对由工件反射的光摄像。在日本专利No.5994419讨论的检查方法中，利用具有周期性变化的亮度的光来照射工件，计算拍摄的反射光图像的亮度变化的振幅(amplitude)和平均值。并且基于计算出的值检测工件的缺陷。在日本专利No.4147682讨论的检查方法中，通过使要被发射给工件的对比图案偏移的同时拍摄多个图像，通过计算诸如各像素的最大值和最小值的评价量，并通过比较像素之间的评价量，来检查微小的缺陷。

依赖于特定类型的缺陷，日本专利No.5994419和日本专利No.4147682讨论的检查方法具有针对缺陷的照射和图像拍摄的限制间接性(limitation indirection)。因此，缺陷的可视化有时仅通过图案照射是不充分的。在这种情况下，如果使用另一照射(例如条照射(bar illumination))，则可以使缺陷可视化。然而，有时难以以图案照射和条照射共享一个摄像系统的方式来布置图案照射和条照射。

如果使用使得能够在图案照射单元上方摄像的透射型图案照射，则摄像系统和各种类型的照射单元的布局自由度提高。相应地，还可以实现设备尺寸减小、检查时间减少等。然而，在图案照射单元上方摄像会使图案出现在拍摄图像上，并且该图像变成噪声分量。结果，会劣化缺陷检测精度。

发明内容

根据本实施例的一方面，提供了一种图像获取设备，其包括：具有按第一方向延伸并且不透射至少一部分入射光的多个非透射部的构件，所述多个非透射部按与所述第一方向交叉的第二方向以周期P的间隔布设；第一照射单元；摄像单元，其被构造为经由所述构件对第一照射单元照射的被检物的区域摄像；以及驱动单元，其被构造为在摄像单元对通过第一照射单元照射的被检物摄像并获取图像的曝光期间使构件和被检物的相对位置按第二方向偏移。

通过以下参照附图对示例性实施例的描述，本公开的其他特征将变得清楚。

附图说明

图1是例示作为根据第一示例性实施例的图像获取设备的光学评价设备的图。

图2是例示根据第一示例性实施例的第二照射单元的图。

图3是例示根据第一示例性实施例的第二照射单元的横截面的图。

图4是例示根据第一示例性实施例的缺陷检查方法的流程图。

图5是例示在使用第一照射单元的情况下要在图像上生成的对比噪声的图。

图6是例示根据第二示例性实施例的第二照射单元和可移动机构的图。

具体实施方式