[发明专利]图像获取设备和图像获取方法在审
| 申请号: | 201810627339.2 | 申请日: | 2018-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN109085172A | 公开(公告)日: | 2018-12-25 |
| 发明(设计)人: | 桥口英则;松田英树 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
| 主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01B11/30 |
| 代理公司: | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人: | 迟军;李艳丽 |
| 地址: | 日本东京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 图像获取设备 被检物 图像获取 照射单元 透射部 摄像 照射 方向交叉 方向延伸 间隔布设 曝光期间 驱动单元 摄像单元 入射光 偏移 透射 图像 | ||
1.一种图像获取设备,其包括:
构件,其具有按第一方向延伸并且不透射至少一部分入射光的多个非透射部,所述多个非透射部按与所述第一方向交叉的第二方向以周期P的间隔布设;
第一照射单元;
摄像单元,其被构造为经由所述构件对第一照射单元照射的被检物的区域摄像;
驱动单元,其被构造为在摄像单元对第一照射单元照射的被检物摄像并获取图像的曝光期间,使所述构件和被检物的相对位置按第二方向偏移。
2.根据权利要求1所述的图像获取设备,
其中,第一照射单元经由所述构件利用条纹光照射被检物,并且
其中,在用于获取一个图像的曝光期间,所述构件与被检物通过驱动单元按第二方向的相对偏移量是周期P的一半的整数倍。
3.根据权利要求1所述的图像获取设备,
其中,第一照射单元经由所述构件利用条纹光照射被检物,并且
其中,在用于获取一个图像的曝光期间,所述构件与被检物通过驱动单元按第二方向的相对偏移量是周期P的一半的5倍或更多倍。
4.根据权利要求1所述的图像获取设备,其中,由于所述构件的存在,在第一照射单元照射期间,摄像单元拍摄图像所需的曝光时间内的相对位置偏移的距离是,要在图像上生成的对比图案的循环期的整数倍。
5.根据权利要求1所述的图像获取设备,其中,第一照射单元被布设在所述构件与摄像单元之间。
6.根据权利要求1所述的图像获取设备,其中,第一照射单元被布设在所述构件的被检物侧的空间中。
7.根据权利要求1所述的图像获取设备,所述图像获取设备还包括图像处理单元,所述图像处理单元被构造为通过对在第一照射单元照射期间由摄像单元拍摄的图像进行处理,生成包括关于被检物的表面的信息的处理图像。
8.根据权利要求1所述的图像获取设备,
其中,所述构件对第二照射单元进行构造,所述第二照射单元被构造为将条纹光投射到被检物,
其中,图像获取设备还包括:
图像处理单元,其被构造为通过对在第二照射单元照射期间由摄像单元拍摄的多个N个图像进行处理,生成包括关于被检物的表面的信息的处理图像,并且
其中,在第二照射单元照射期间,当所述构件和被检物通过驱动单元按第二方向相对地偏移了偏移量ΔXi(i=1,2,…N)时,摄像单元通过经由所述构件对被检物摄像而获取N个图像,偏移量ΔXi(i=1,2,…N)彼此不同,并且所有偏移量ΔXi(i=1,2,…N)与周期P的整数倍的量不同。
9.根据权利要求8所述的图像获取设备,其中,图像处理单元使用关于在N个图像上生成的条纹图案的频率分量的强度变化的信息,从N个图像中生成处理图像,所述N个图像在第二照射单元照射期间通过摄像单元拍摄,相位在所述N个图像之间偏移。
10.根据权利要求9所述的图像获取设备,其中,图像处理单元从关于强度变化的信息中获取强度变化的频率分量的振幅、相位和相位差中的至少一者,以生成振幅图像、相位图像和相位差图像中的至少一者,作为处理图像。
11.根据权利要求8所述的图像获取设备,其中,第二照射单元包括所述构件和被布设在包围所述构件的区域内的光源。
12.根据权利要求8所述的图像获取设备,
其中,第二照射单元包括所述构件、半反射镜和光源,并且
其中,从光源发射的一部分光,被半反射镜反射并且在通过非透射部之间之后照射被检物,来自被检物的一部分光通过非透射部之间并且被摄像单元接收并摄像。
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