[发明专利]真空装置、蒸镀装置及闸阀在审
| 申请号： | 201810616374.4 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN109666888A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 菅原洋纪;大仓敏和;青沼大介 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/56;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 闸阀 真空装置 腔室 第一腔室 辐射率 相向 开口 第二构件 方式设置 减压气氛 外部空间 蒸镀装置 第二面 有效地 分隔 结露 开闭 覆盖 | ||
1.一种真空装置，具有：
内部空间为减压气氛的腔室；及
将所述腔室的所述内部空间与外部空间分隔的闸阀，
所述真空装置的特征在于，
所述腔室包括具有开口的第一腔室壁，
所述闸阀以覆盖所述开口的方式设置，沿着与所述第一腔室壁交叉的方向开闭，
所述闸阀的第一面与温度比所述闸阀高的第一构件相向，
所述闸阀的第二面与温度比所述闸阀低的第二构件相向，
所述第一面的辐射率高于所述第二面的辐射率。
2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，
所述第一面由氟树脂形成。
3.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，
在所述第二面与所述第二构件之间设有反射板。
4.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，
所述腔室包括与所述第一腔室壁相向的第二腔室壁，
所述第一构件是所述第二腔室壁。
5.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，
所述第二构件是低温泵或包含低温冷阱的真空排气泵。
6.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，
所述第一面的辐射率为0.8以上。
7.一种真空装置，具有：
内部空间为减压气氛的腔室；及
将所述腔室的所述内部空间与外部空间分隔的闸阀，
所述真空装置的特征在于，
所述腔室包括具有开口的第一腔室壁和与所述第一腔室壁相向的第二腔室壁，
所述闸阀以覆盖所述开口的方式设置，沿着与所述第一腔室壁交叉的方向开闭，
所述闸阀的第一面与所述第二腔室壁相向，
所述闸阀的第二面与低温泵或低温冷阱相向，
所述第一面的辐射率高于所述第二面的辐射率。
8.根据权利要求7所述的真空装置，其特征在于，
所述第一面由氟树脂形成。
9.根据权利要求7所述的真空装置，其特征在于，
在所述第二面与所述低温泵或所述低温冷阱之间设有反射板。
10.根据权利要求7所述的真空装置，其特征在于，
所述第一面的辐射率为0.8以上。
11.一种真空装置，具有：
内部空间为减压气氛的腔室；及
将所述腔室的所述内部空间与外部空间分隔的闸阀，
所述真空装置的特征在于，
所述腔室具有第一腔室壁，所述第一腔室壁具有开口，
所述闸阀以覆盖所述开口的方式设置，沿着与所述第一腔室壁交叉的方向开闭，
所述真空装置具有使所述闸阀的散热量下降的保温机构。
12.根据权利要求11所述的真空装置，其特征在于，
所述保温机构是配置在所述闸阀与温度比所述闸阀低的构件之间的反射板。
13.根据权利要求12所述的真空装置，其特征在于，
所述反射板重叠配置多张，多张所述反射板设有间隙地配置。
14.根据权利要求11所述的真空装置，其特征在于，
所述保温机构是所述闸阀的旋转机构，
所述闸阀在打开时旋转，由此，与所述开口相向的面积比关闭时减少。
15.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，
所述真空装置具有用于使所述闸阀驱动的支承机构，
所述支承机构的与所述闸阀接触的接触面由球面形成。
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