[发明专利]探针卡

说明书

本发明提供了一种探针卡，所述探针卡包括：基板、多个镶嵌在所述基板内并能够在所述基板内滑动的探针模块以及安装在所述探针模块上的多个探针，所述探针模块的滑动能使得所述探针所在的位置发生变化。在本发明提供的探针卡中，多个所述探针安装在一个探针模块上，再在基板上安装多个探针模块，探针模块可以滑动，滑动探针模块可以使此探针模块上的探针所在的位置发生变化进，即滑动探针模块可以将原来接触到晶圆测试点的探针变为没有接触到晶圆测试点，因此，相对于现有技术，本发明的探针卡可以使用多种不同类型的晶圆测试。

技术领域

本发明涉及一种半导体领域的测试装置，尤其是一种探针卡。

背景技术

在半导体集成电路行业中，在全自动测试系统上进行晶圆的可靠性测试时通常会使用到探针卡来进行辅助测试，探针卡是将探针的一端固定在电路板上，然后再通过电路板与测试机台连接，探针的另一端则与晶圆上的每一块测试单元的探点接触，从而形成一个完整的测试系统。一般而言，晶圆测试的方法是利用多根探针相对应地接触集成电路元件上的电接点(pad)，通过测量集成电路元件的电性特性，以判断集成电路的良莠。

不同的晶圆需要测试的测试点不同，因此需要的探针数量也不同，然而当前WAT(晶圆可靠性参数测试)测试的探针卡都是只有1种固定数量的探针(即一类探针卡只能测试对应数量的测试点)，在测试不同产品时需要经常更换WAT机台上的探针卡(不同类型)。频繁更换影响WAT(晶圆可靠性参数测试)测试效率，而且对于在探针卡预期保养周期内对探针卡基板的使用率也不高(容易损坏探针卡)。

发明内容

本发明的目的在于提供一种探针可调节的探针卡，能适用于多种产品的可靠性测试。

为了达到上述目的，本发明提供了一种探针卡，所述探针卡包括：基板、多个镶嵌在所述基板内并能够在所述基板内滑动的探针模块以及安装在所述探针模块上的多个探针，所述探针模块的滑动能使得所述探针所在的位置发生变化。

可选的，在所述的探针卡中，所述基板中间有一通孔，所述通孔呈一个多边形的形状。

可选的，在所述的探针卡中，所述基板呈一个多边形的形状。

可选的，在所述的探针卡中，所述基板的多个侧边位置各有一个或多个凹槽，所述凹槽具有一倾斜面，所述凹槽的倾斜面向着所述通孔倾斜或者所述凹槽的倾斜面向着所述凹槽所在的侧边的相邻侧边的方向倾斜。

可选的，在所述的探针卡中，所述探针卡还包括导轨，所述导轨沿着所述倾斜方向安装在所述凹槽的倾斜面上。

可选的，在所述的探针卡中，多个所述探针模块分别安装在多个所述凹槽内的导轨上，所述探针模块能沿着所述导轨移动使得所述探针的高度发生变化。

可选的，在所述的探针卡中，所述探针模块呈楔形块状，所述探针模块具有一倾斜面，所述探针模块的倾斜面的倾斜角度与所述凹槽的倾斜面的倾斜角度相同。

可选的，在所述的探针卡中，所述探针模块的倾斜面贴着所述凹槽的倾斜面安装使得所述探针模块的表面能与所述基板的表面平行。

可选的，在所述的探针卡中，所述探针模块上还有多个探针孔，所述探针穿过所述探针孔。

可选的，在所述的探针卡中，所述探针模块上的探针数量为12个。

可选的，在所述的探针卡中，所述探针的两个端部呈弯曲的形状。

针对现有探针卡不能适用于多类晶圆的可靠性测试的情况，发明人发明了一种多用的探针卡，即可以适用于多类晶圆的可靠性测试的探针卡。在本发明提供的探针卡中，多个所述探针安装在一个探针模块上，再在基板上安装多个探针模块，探针模块可以滑动，滑动探针模块可以使此探针模块上的探针所在的位置发生变化，即滑动探针模块可以将原来接触到晶圆测试点的探针变为没有接触到晶圆测试点，因此，相对于现有技术，本发明的探针卡可以使用多种不同类型的晶圆测试。