[发明专利]探针卡

权利要求书

1.一种探针卡，其特征在于，所述探针卡包括：基板、多个镶嵌在所述基板内并能够在所述基板内滑动的探针模块以及安装在所述探针模块上的多个探针，所述探针模块的滑动能使得所述探针所在的位置发生变化；所述基板中间有一通孔，所述通孔呈一个多边形的形状；所述基板的多个侧边位置各有一个或多个凹槽，所述凹槽具有一倾斜面，所述凹槽的倾斜面向着所述通孔倾斜或者所述凹槽的倾斜面向着所述凹槽所在的侧边的相邻侧边倾斜；所述探针模块呈楔形块状，所述探针模块具有一倾斜面，所述探针模块的倾斜面的倾斜角度与所述凹槽的倾斜面的倾斜角度相同；所述探针卡还包括导轨，所述导轨沿着倾斜方向安装在所述凹槽的倾斜面上；多个所述探针模块分别安装在多个所述凹槽内的导轨上，所述探针模块能沿着所述导轨移动使得所述探针的高度发生变化。

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述基板呈一个多边形的形状。

3.如权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述探针模块的倾斜面贴着所述凹槽的倾斜面安装使得所述探针模块的表面能与所述基板的表面平行。

4.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，所述探针模块上还有多个探针孔，所述探针穿过所述探针孔。

5.如权利要求4所述的探针卡，其特征在于，所述探针模块上的探针数量为12个。

6.如权利要求5所述的探针卡，其特征在于，所述探针的两个端部呈弯曲的形状。