[发明专利]一种锂离子电池负极材料的制备方法

权利要求书

1.一种锂离子电池负极材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）清洗硅基底，分别以锡靶和镍靶为靶材，在硅基底上沉积一层氧化锡和镍金属；

（2）以甲烷为辅助气体，采用超音速火焰喷涂的方式将金刚石粉与铝粉的混合物喷涂到步骤（1）的硅基底表面，得到用于锂离子电池的负极材料；

在硅基底清洗干净后，将硅基底置于沉积室中，在惰性气体的存在下，打开偏压电源，用惰性气体的等离子体对硅基底进行溅射清洗；

所述溅射清洗的工艺参数为，电源功率30kW；沉积室压强为2~5Pa，对基底施加的负偏压为-600V，所述偏压占空比为50%，溅射清洗的时间为10~20min；

所述的步骤（2）中，所述超音速火焰喷涂的喷涂参数为，采用氧气作为助燃气，氢气作为燃气，氮气作为送粉气体；

所述氧气的压力为15~25bar，流量为400~900slpm，氢气的压力为6~8bar，流量为30~50slpm，辅助气体甲烷的压力为1~3bar，流量为5~10slpm，氮气的压力为4~8bar，流量为12~24slpm，送粉速度为10~50g/min，喷涂距离为200~300mm。

2.根据权利要求1所述的锂离子电池负极材料的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，所述氧化锡的沉积厚度为1~5μm、镍金属的沉积厚度为0.5~1μm。

3.根据权利要求1所述的锂离子电池负极材料的制备方法，其特征在于：所述金刚石粉与铝粉的重量比为（5~10）：1。