[发明专利]检查装置、安装装置、检查方法

说明书

本发明提供检查装置、安装装置、检查方法，其通过简易的处理而高精度地对有无向基板搭载部件进行检查。检查装置(60)根据对向基板的搭载面搭载部件前后进行拍摄而得到的部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载部件进行检查，该检查装置具有：差分图像生成部(62)，其根据搭载前图像和搭载后图像而生成差分图像；差分区域提取部(63)，其从差分图像对包含有差分像素的差分区域进行提取；噪声判别部(64)，其根据差分区域的区域尺寸和部件尺寸而对噪声成分进行判别；噪声去除部(65)，其将判别为噪声成分的差分区域从差分图像去除；以及判定部(67)，其基于将噪声成分去除后的差分图像而对有无部件进行判定。

技术领域

本发明涉及对有无向基板搭载部件进行检查的检查装置、安装装置、检查方法。

背景技术

作为安装装置，已知具有检查装置的安装装置，该检查装置使用搭载于安装头的拍摄装置，对有无向基板搭载部件进行检查(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的检查装置中，在部件的搭载前后对针对基板的搭载面进行拍摄，求出搭载前图像和搭载后图像的差分图像，由此对在基板的搭载区域是否搭载有部件进行检查。在利用如上所述的搭载前后的差分图像进行的检查中，有时除了部件以外的部位的差分会造成影响。因此，通常为了将部件的周边噪声去除而针对差分图像实施了噪声切除。

专利文献1：日本特开2014－110335号公报

另外，在对部件的搭载前图像和搭载后图像进行拍摄时，由于拍摄时的模糊(blur)等，除了部件以外的部位也产生不少差分。在部件的尺寸大的情况下，其影响少，但近年，部件的尺寸具有微小化的趋势。在部件的尺寸小的情况下，其影响相对地变大。例如，关于0608、0402(部件的横向尺寸0.4mm、纵向尺寸0.2mm)等微细芯片部件，相对于差分图像的整体，由部件产生的差分的比率小，差分有无的阈值也变小。因此，导致部件以外的差分超过阈值，尽管在基板的载置面没有搭载部件，仍有可能误判定为搭载有部件。

发明内容

本发明就是鉴于该问题而提出的，其目的之一在于，提供能够通过简易的处理，高精度地对有无向基板搭载部件进行检查的检查装置、安装装置、检查方法。

本发明的一个方式的检查装置根据对向基板的搭载面搭载部件前后进行拍摄而得到的所述部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载所述部件进行检查，该检查装置的特征在于，具有：差分图像生成部，其根据所述搭载前图像和所述搭载后图像而生成差分图像；差分区域提取部，其从所述差分图像对包含有差分像素的差分区域进行提取；噪声判别部，其根据所述差分区域的区域尺寸和部件尺寸而对噪声成分进行判别；噪声去除部，其将判别为所述噪声成分的差分区域从所述差分图像去除；以及判定部，其基于将所述噪声成分去除后的所述差分图像而对有无所述部件进行判定。

本发明的一个方式的检查方法根据对向基板的搭载面搭载部件前后进行拍摄而得到的所述部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载所述部件进行检查，该检查方法的特征在于，具有下述步骤：根据所述搭载前图像和所述搭载后图像而生成差分图像；从所述差分图像对包含有差分像素的差分区域进行提取；根据所述差分区域的区域尺寸和部件尺寸而对噪声成分进行判别；将判别为所述噪声成分的差分区域从所述差分图像去除；以及基于将所述噪声成分去除后的所述差分图像而对有无所述部件进行判定。

根据这些结构，通过将差分区域的区域尺寸与部件尺寸相比较，从而对差分图像所包含的差分区域是由部件产生的差分、还是除了部件以外的噪声成分进行判别。而且，通过从差分图像将噪声成分去除，从而仅由部件产生的差分区域残留于差分图像。由此，不受除了部件以外的噪声成分的影响，能够高精度地对有无向基板搭载部件进行检查。

在本发明的一个方式的检查装置中，如果差分区域的纵向尺寸或横向尺寸大于所述部件的纵向尺寸或横向尺寸，则所述噪声判别部将所述差分区域判别为噪声成分。根据该结构，通过对部件和差分区域的纵向尺寸之间、横向尺寸之间进行比较，从而能够对差分区域是由部件产生的差分、还是除了部件以外的噪声成分进行判别。