[发明专利]检查装置、安装装置、检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，其根据对向基板的搭载面搭载部件前后进行拍摄而得到的所述部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载所述部件进行检查，

该检查装置的特征在于，具有：

差分图像生成部，其根据所述搭载前图像和所述搭载后图像而生成差分图像；

差分区域提取部，其从所述差分图像对包含有差分像素的差分区域进行提取；

噪声判别部，其根据所述差分区域的区域尺寸和部件尺寸而对噪声成分进行判别；

噪声去除部，其将判别为所述噪声成分的差分区域从所述差分图像去除；以及

判定部，其基于将所述噪声成分去除后的所述差分图像而对有无所述部件进行判定。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

如果差分区域的纵向尺寸或横向尺寸大于所述部件的纵向尺寸或横向尺寸，则所述噪声判别部将所述差分区域判别为噪声成分。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

所述噪声判别部在所述差分区域的面积处于容许范围外的情况下，不比较纵向尺寸及横向尺寸，而将所述差分区域判别为噪声成分。

4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

在所述差分图像含有多个差分区域，

如果所述多个差分区域的间隔处于规定像素数内，则所述差分区域提取部将所述多个差分区域作为相同的差分区域进行提取，如果所述多个差分区域的间隔大于规定像素数，则所述差分区域提取部将所述多个差分区域作为各个差分区域进行提取。

5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

所述差分区域提取部对所述差分图像实施膨胀处理及收缩处理，如果所述多个差分区域的间隔处于规定像素数以内，则将所述多个差分区域结合而作为1个差分区域进行提取。

6.一种安装装置，其特征在于，具有：

权利要求1至权利要求5中任一项记载的检查装置；

安装头，其将所述部件向所述搭载面进行搭载；以及

拍摄装置，其对由所述安装头搭载部件前后进行拍摄。

7.一种检查方法，其根据对向基板的搭载面搭载部件前后进行拍摄而得到的所述部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载所述部件进行检查，

该检查方法的特征在于，具有下述步骤：

根据所述搭载前图像和所述搭载后图像而生成差分图像；

从所述差分图像对包含有差分像素的差分区域进行提取；

根据所述差分区域的区域尺寸和部件尺寸而对噪声成分进行判别；

将判别为所述噪声成分的差分区域从所述差分图像去除；以及

基于将所述噪声成分去除后的所述差分图像而对有无所述部件进行判定。