[发明专利]移送引导组件及基板移送装置在审
| 申请号： | 201810582048.6 | 申请日： | 2018-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN109148344A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 金基哲;朴奇洪;李昌镛;崔峰满;俞阿敏 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 延美花;臧建明 |
| 地址： | 韩国忠清*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 引导组件 基板 驱动部件 基板移送装置 平板显示装置 方向驱动 显示装置 移送装置 板形状 有效地 棱角 浮起 平坦 制造 | ||
1.一种移送引导组件，其特征在于，包括：
本体，其具有平坦的板形状；以及
接触部，其与基板的一侧棱角接触且设置于所述本体的一侧，
其中，所述移送引导组件在移送所述基板期间与所述基板一起浮起。
2.根据权利要求1所述的移送引导组件，其特征在于：
所述本体包括聚醚醚酮或陶瓷。
3.根据权利要求1所述的移送引导组件，其特征在于：
所述基板通过超声波发生的浮起力与所述移送引导组件一起浮起。
4.一种基板移送装置，用于移送浮在板上部的基板，其特征在于，包括：
移送引导组件，其包括具有平坦的板形状的本体及与所述基板的一侧棱角接触且设置于所述本体的一侧的接触部，在移送所述基板期间与所述基板一起浮起；以及
驱动部件，其通过沿着移送方向驱动所述移送引导组件，沿着所述移送方向移送所述基板。
5.根据权利要求4所述的基板移送装置，其特征在于：
所述移送引导组件包括聚醚醚酮或陶瓷。
6.根据权利要求4所述的基板移送装置，其特征在于：
所述基板通过超声波发生的浮起力与所述移送引导组件一起浮起。
7.根据权利要求4所述的基板移送装置，其特征在于，还包括：
从所述移送引导组件向第一方向配置的第一延伸部及从所述驱动部件向第二方向配置的第二延伸部，
所述移送引导组件与所述驱动部件通过连接所述第一延伸部与所述第二延伸部相连接。
8.根据权利要求7所述的基板移送装置，其特征在于：
所述第一延伸部结合于所述第二延伸部且能够向所述第一方向移动。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
