[发明专利]压力感应模组及其制作方法、电子设备

说明书

本发明提供了一种压力感应模组及其制作方法、电子设备，属于压力感应技术领域。其中，压力感应模组的制作方法包括：提供一载板；在所述载板上形成柔性薄膜；在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一压力感应电极和第二压力感应电极，所述第二压力感应电极对应相邻所述第一压力感应电极之间的间隙设置，在受到压力作用时，所述第一压力感应电极和所述第二压力感应电极之间的距离能够发生变化；形成覆盖所述第一压力感应电极和所述第二压力感应电极的柔性保护膜；将所述柔性薄膜从所述载板上剥离。本发明的压力感应模组能够应用在柔性显示产品、机器人以及可穿戴设备中。

技术领域

本发明涉及压力感应技术领域，特别是指一种压力感应模组及其制作方法、电子设备。

背景技术

近年来柔性显示产品迅猛发展，各大显示厂商都在如火如荼的推进柔性显示产品的量产，柔性显示产品的成熟提出了对于柔性压力感应模组的需求；另一方面机器人特别是类人机器人的发展，要求机械手抓取物体的时候可以精确地感受力的大小，匹配抓取物体的动作，也提出了对于柔性压力感应模组的需求。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种压力感应模组及其制作方法、电子设备，能够应用在柔性显示产品、机器人以及可穿戴设备中。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：

一方面，提供一种压力感应模组的制作方法，包括：

提供一载板；

在所述载板上形成柔性薄膜；

在所述柔性薄膜上利用金属形成位于不同水平面的第一压力感应电极和第二压力感应电极，所述第二压力感应电极对应相邻所述第一压力感应电极之间的间隙设置，在受到压力作用时，所述第一压力感应电极和所述第二压力感应电极之间的距离能够发生变化；

形成覆盖所述第一压力感应电极和所述第二压力感应电极的柔性保护膜；

将所述柔性薄膜从所述载板上剥离。

进一步地，所述在所述载板上形成柔性薄膜之前，所述方法还包括：

在所述载板上形成离型层；

所述在所述载板上形成柔性薄膜具体为：

在所述离型层上形成所述柔性薄膜。

进一步地，所述在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一压力感应电极和第二压力感应电极包括：

在所述柔性薄膜上形成多个间隔排布的第一压力感应电极；

形成覆盖所述第一压力感应电极的第一柔性层；

在所述第一柔性层上形成多个间隔排布的第二压力感应电极；

去除相邻所述第二压力感应电极之间的至少部分所述第一柔性层。

进一步地，所述在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一压力感应电极和第二压力感应电极包括：

在所述柔性薄膜上形成多个间隔排布的第一压力感应电极；

形成覆盖所述第一压力感应电极的第一柔性层；

在所述第一柔性层上形成多个间隔排布的第二压力感应电极；

形成覆盖所述第二压力感应电极的第二柔性层；

去除相邻所述第二压力感应电极之间的所述第二柔性层和至少部分所述第一柔性层。

本发明实施例还提供了一种压力感应模组，包括：

柔性薄膜；