[发明专利]压力感应模组及其制作方法、电子设备

权利要求书

1.一种压力感应模组的制作方法，其特征在于，包括：

提供一载板；

在所述载板上形成柔性薄膜；

在所述柔性薄膜上利用金属形成位于不同水平面的第一压力感应电极和第二压力感应电极，所述第二压力感应电极对应相邻所述第一压力感应电极之间的间隙设置，在受到压力作用时，所述第一压力感应电极和所述第二压力感应电极之间的距离能够发生变化；

形成覆盖所述第一压力感应电极和所述第二压力感应电极的柔性保护膜；

将所述柔性薄膜从所述载板上剥离；

所述在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一压力感应电极和第二压力感应电极包括：

在所述柔性薄膜上形成多个间隔排布的第一压力感应电极；

形成覆盖所述第一压力感应电极的第一柔性层；

在所述第一柔性层上形成多个间隔排布的第二压力感应电极；

去除相邻所述第二压力感应电极之间的至少部分所述第一柔性层。

2.根据权利要求1所述的压力感应模组的制作方法，其特征在于，所述在所述载板上形成柔性薄膜之前，所述方法还包括：

在所述载板上形成离型层；

所述在所述载板上形成柔性薄膜具体为：

在所述离型层上形成所述柔性薄膜。

3.根据权利要求1所述的压力感应模组的制作方法，其特征在于，所述在所述柔性薄膜上形成位于不同水平面的第一压力感应电极和第二压力感应电极还包括：

形成覆盖所述第二压力感应电极的第二柔性层；

去除相邻所述第二压力感应电极之间的所述第二柔性层。

4.一种压力感应模组，其特征在于，包括：

柔性薄膜；

位于所述柔性薄膜上、采用金属制成的第一压力感应电极和第二压力感应电极，所述第一压力感应电极和所述第二压力感应电极位于不同水平面，所述第二压力感应电极对应相邻所述第一压力感应电极之间的间隙设置，在受到压力作用时，所述第一压力感应电极和所述第二压力感应电极之间的距离能够发生变化；

覆盖所述第一压力感应电极和第二压力感应电极的柔性保护膜；

所述压力感应模组具体包括：

柔性薄膜；

位于所述柔性薄膜上的多个间隔排布的第一压力感应电极；

第一柔性层的图形，所述第一柔性层的图形包括多个交替排布的凹槽和凸起，所述凹槽对应所述第一压力感应电极设置；

位于所述凸起上的第二压力感应电极。

5.根据权利要求4所述的压力感应模组，其特征在于，所述压力感应模组还包括：

覆盖所述第二压力感应电极的第二柔性层的图形，所述第二柔性层的图形在所述柔性薄膜上的正投影落入所述凸起在所述柔性薄膜上的正投影内。

6.根据权利要求5所述的压力感应模组，其特征在于，所述柔性薄膜、所述第一柔性层和所述第二柔性层采用聚酰亚胺制成。

7.根据权利要求6所述的压力感应模组，其特征在于，所述柔性薄膜的厚度为5-20um，所述第一柔性层的厚度为1-10um，所述第二柔性层的厚度为5-20um。

8.一种电子设备，其特征在于，包括如权利要求4-7中任一项所述的压力感应模组。