[发明专利]基板交接方法以及基板处理装置

权利要求书

1.一种基板交接方法，其特征在于，通过使多个销向载置台的上方突出来从搬送装置接收基板，多个所述销以突出缩回自如的方式设置于用于载置被所述搬送装置搬送来的所述基板的所述载置台，

在所述基板被多个所述销支承的状态下，检测所述基板的规定部分的位置，

利用对所述基板的规定部分的位置的检测结果，估计所述基板的中心位置与预先决定的基准位置之间的位置偏移的偏移量以及偏移方向，

通过使各所述销分别移动到与所估计出的所述偏移量及所述偏移方向相应的、各所述销的高度位置，来使所述基板倾斜，

通过在所述基板倾斜的状态下使多个所述销以相同速度下降，使所述基板局部地接触所述载置台，通过使多个所述销继续下降，利用伴随与所述载置台接触而产生的所述基板的垂直方向的旋转，来一边使所述基板的中心位置向与所述偏移方向相反的方向移动所述偏移量一边使所述基板载置于所述载置台。

2.根据权利要求1所述的基板交接方法，其特征在于，

关于使所述基板倾斜的处理，参照同所述基板的中心位置与预先决定的基准位置之间的位置偏移的偏移量及偏移方向的每个组合对应关联地存储有用于使所述基板倾斜的各所述销的高度位置的表，来选择与所估计出的所述偏移量及所述偏移方向的组合对应的各所述销的高度位置，通过使各所述销分别移动到所选择出的高度位置，来使所述基板倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的基板交接方法，其特征在于，

关于使所述基板倾斜的处理，通过使各所述销分别移动，以所述基板的边缘部中的、与从所述基准位置起延伸且通过所述基板的中心位置的直线交叉的部分成为最低的状态，来使所述基板倾斜。

4.一种基板处理装置，其特征在于，具有：

处理容器；

载置台，其设置在所述处理容器内，用于载置被搬送装置搬送来的基板；

多个销，该多个销以突出缩回自如的方式设置于所述载置台；

检测部，其检测所述基板的规定部分的位置；以及

控制部，其执行根据权利要求1～3中的任一项所述的基板交接方法。