[发明专利]基板加工用暂时粘着薄膜卷、薄型基板的制造方法有效
| 申请号： | 201810569688.3 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN108977117B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 田边正人;菅生道博;近藤和纪;安田浩之 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09J7/40 | 分类号： | C09J7/40;C09J183/07;C09J163/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;张永康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板加 工用 暂时 粘着 薄膜 薄型基板 制造 方法 | ||
1.一种基板加工用暂时粘着薄膜卷，其特征在于，具备卷芯和复合薄膜状暂时粘着材料，所述复合薄膜状暂时粘着材料卷绕在所述卷芯上且用以将应加工的基板暂时粘着在支撑体上，
并且，所述复合薄膜状暂时粘着材料具有由热塑性树脂构成的第一暂时粘着材料层(A)、由热固性树脂构成的第二暂时粘着材料层(B)、以及由与所述第二暂时粘着材料层不同的热固性树脂构成的第三暂时粘着材料层(C)。
2.如权利要求1所述的基板加工用暂时粘着薄膜卷，其中，所述基板加工用暂时粘着薄膜卷在所述卷芯上卷绕有脱模基材和形成于所述脱模基材上的所述复合薄膜状暂时粘着材料，并且，所述复合薄膜状暂时粘着材料从所述脱模基材侧起依序形成有所述第一暂时粘着材料层(A)、所述第二暂时粘着材料层(B)、所述第三暂时粘着材料层(C)。
3.如权利要求1所述的基板加工用暂时粘着薄膜卷，其中，所述第二暂时粘着材料层(B)的固化膜的根据动态粘弹性测量来测得的弹性率，在25℃时为50MPa以上且1GPa以下。
4.如权利要求2所述的基板加工用暂时粘着薄膜卷，其中，所述第二暂时粘着材料层(B)的固化膜的根据动态粘弹性测量来测得的弹性率，在25℃时为50MPa以上且1GPa以下。
5.如权利要求1所述的基板加工用暂时粘着薄膜卷，其中，所述第三暂时粘着材料层(C)的固化膜与所述基板或所述支撑体之间的剥离力，在25℃时往180°方向剥离的试验中为20mN/25mm以上且500mN/25mm以下。
6.如权利要求2所述的基板加工用暂时粘着薄膜卷，其中，所述第三暂时粘着材料层(C)的固化膜与所述基板或所述支撑体之间的剥离力，在25℃时往180°方向剥离的试验中为20mN/25mm以上且500mN/25mm以下。
7.如权利要求3所述的基板加工用暂时粘着薄膜卷，其中，所述第三暂时粘着材料层(C)的固化膜与所述基板或所述支撑体之间的剥离力，在25℃时往180°方向剥离的试验中为20mN/25mm以上且500mN/25mm以下。
8.如权利要求4所述的基板加工用暂时粘着薄膜卷，其中，所述第三暂时粘着材料层(C)的固化膜与所述基板或所述支撑体之间的剥离力，在25℃时往180°方向剥离的试验中为20mN/25mm以上且500mN/25mm以下。
9.如权利要求1所述的基板加工用暂时粘着薄膜卷，其中，所述第三暂时粘着材料层(C)是含有下述成分的组合物的层：(c1)分子中具有烯基的有机聚硅氧烷；(c2)一分子中含有2个以上键结于硅原子上的氢原子也就是Si-H基的有机氢聚硅氧烷，所述(c2)成分的量是(c2)成分中的Si-H基相对于所述(c1)成分中的烯基的摩尔比成为0.3至15的量；以及，(c3)铂系催化剂。
10.如权利要求2所述的基板加工用暂时粘着薄膜卷，其中，所述第三暂时粘着材料层(C)是含有下述成分的组合物的层：(c1)分子中具有烯基的有机聚硅氧烷；(c2)一分子中含有2个以上键结于硅原子上的氢原子也就是Si-H基的有机氢聚硅氧烷，所述(c2)成分的量是(c2)成分中的Si-H基相对于所述(c1)成分中的烯基的摩尔比成为0.3至15的量；以及，(c3)铂系催化剂。
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