[发明专利]一种电镀添加剂的定性和定量分析方法

权利要求书

1.一种电镀添加剂的定性和定量分析方法，其特征在于，主要包括以下步骤：

步骤1、对位于电镀阳极同一侧的、与电镀阳极的距离不同的n个电镀阴极上的电流强度进行监测，得到n个电镀阴极上的电流密度，进而得到n个电镀阴极上电流密度随电镀时间t的变化曲线，即j-t曲线；其中，n≥2；

步骤2、针对n个电镀阴极上电流密度，分别计算电流密度在单位时间内的变化率|Δj|，当电流密度在单位时间内的变化率|Δj|＜1％时，取单位时间内电流密度的平均值作为稳态电流密度j_ss；

步骤3、通过从初始电流密度j(0)到建立稳态电流密度j_ss所需时间Δt_ss的大小来对添加剂的扩散特性和吸附特性进行定性分析；通过稳态电流密度j_ss与初始电流密度j(0)的差值Δj_ss的大小来对添加剂的电化学特性进行定性分析；通过第2、3、…、n个电镀阴极的稳态电流密度与第1个电镀阴极的稳态电流密度的比值大小来对添加剂和电镀液体系的电镀性能进行定性分析；

步骤4、针对n个电镀阴极，建立稳态电流密度j_ss随添加剂浓度c变化的曲线，即j_ss-c标准曲线，选择n条j_ss-c标准曲线中斜率最大的两条曲线作为添加剂浓度分析的标准曲线，以对电镀液中添加剂的浓度进行定量分析。

2.根据权利要求1所述的电镀添加剂的定性和定量分析方法，其特征在于，所述n个电镀阴极在测量过程中同时通电，n个电镀阴极上电势相等。

3.根据权利要求1所述的电镀添加剂的定性和定量分析方法，其特征在于，所述n个电镀阴极在通电过程中面积不变；并且，相对于电镀阳极，n个电镀阴极之间不互相遮挡。

4.根据权利要求1所述的电镀添加剂的定性和定量分析方法，其特征在于，当电镀槽中加入某种添加剂的电镀液，或者电镀槽里的电镀液中加入某种添加剂时，若第1电镀阴极的电流密度j₁变化速度越快，即Δt_1ss越小，则该添加剂的吸附特性越好；若第2、3、…、n个电镀阴极的电流密度变化越快，即Δt_2ss、Δt_3ss、…、Δt_nss越小，则该添加剂的扩散特性越好；若第2、3、…、n个电镀阴极的稳态电流密度与第1个电镀阴极的稳态电流密度的比值越大，则该浓度的添加剂越有利于提高电镀液的分散能力，反之则不利于提高电镀液的分散能力。

5.根据权利要求1所述的电镀添加剂的定性和定量分析方法，其特征在于，当电镀槽中加入电镀液时，若第2、3、…、n个电镀阴极的稳态电流密度与第1个电镀阴极的稳态电流密度j_1ss的比值越大，则该电镀液的均镀能力越好，反之则越差；若第2、3、…、n个电镀阴极的稳态电流密度与第1个电镀阴极的稳态电流密度j_1ss的比值接近0，则该电镀液的深镀能力越差。

6.根据权利要求1所述的电镀添加剂的定性和定量分析方法，其特征在于，当在电镀槽里的电镀液中加入某一添加剂时，根据n个电镀阴极上稳态电流密度j_1ss、j_2ss、…、j_nss与添加剂浓度c的关系，建立稳态电流密度j_ss随添加剂浓度c变化的曲线，即j_ss-c标准曲线；选择n条j_ss-c标准曲线中斜率最大的两条曲线作为添加剂浓度分析的标准曲线，以对电镀液中添加剂的浓度进行定量分析；在电镀槽里的电镀液中加入某一添加剂后，根据稳态电流密度的大小在标准曲线中找到对应的添加剂浓度；得到的两个浓度在预设误差范围内时，取两者的平均值作为最后测定的添加剂浓度。

7.根据权利要求1所述的电镀添加剂的定性和定量分析方法，其特征在于，所述n个电镀阴极所处的对流环境不同，距离电镀阳极最近的第1电镀阴极与电镀阳极平行；其他电镀阴极位于孔、凹槽或者沟槽内，与电镀阳极的夹角为0～90°。

8.一种电镀添加剂的定性和定量分析方法，其特征在于，所述分析方法通过在电镀阳极和n个电镀阴极之间施加脉冲电流，施加正向电流时，通过第2、3、…、n个电镀阴极的稳态电流密度与第1个电镀阴极的稳态电流密度j_1ss的比值大小来对处于工作状态的电镀槽中电镀液的电镀性能进行在线监控；利用建立的j_ss-c标准曲线，选择其中斜率最大的两条曲线作为添加剂浓度分析的标准曲线，以对处于工作状态的电镀槽中电镀液的添加剂浓度进行在线分析。