[发明专利]用于化学增幅抗蚀剂组合物的含碘聚合物

权利要求书

1.一种单体，具有式(I)：

其中在式(I)中：

W是-(C＝O)O-、-O(C＝O)-、-O(SO₂)-、-(SO₂)O-、-NH(SO₂)-、-(SO₂)NH-、-NH(CO)-、-(CO)NH-、-SO₂-、-SO-，

R^a是H、F、-CN、C_1-10烷基或C_1-10氟烷基；

L是选自以下的连接基团：未经取代或经取代的C_1-20亚烷基、未经取代或经取代的C_3-20亚环烷基、未经取代或经取代的C_6-20亚芳基和未经取代或经取代的C_7-20亚芳烷基；

表示单环或多环未经取代或经取代的C_6-30亚芳基或单环或多环未经取代或经取代的C_3-30亚杂芳基，其中“*”表示与相邻基团或原子的连接点；

“I”表示碘；

X选自-F、-Cl、-Br、羟基、氰基、硝基、氨基、脒基、肼基、腙基、羧酸基或其盐、磺酸基或其盐、磷酸基或其盐、未经取代或经取代的C_1-30烷基、未经取代或经取代的C_2-30烯基、未经取代或经取代的C_2-30炔基、未经取代或经取代的C_1-30烷氧基、未经取代或经取代的C_3-30环烷基、未经取代或经取代的C_1-30杂环烷基、未经取代或经取代的C_3-30环烯基、未经取代或经取代的C_1-30杂环烯基、未经取代或经取代的C_6-30芳基、未经取代或经取代的C_6-30芳氧基、未经取代或经取代的C_6-30芳硫基、未经取代或经取代的C_7-30芳烷基、未经取代或经取代的C_1-30杂芳基、未经取代或经取代的C_2-30杂芳氧基、未经取代或经取代的C_2-30杂芳硫基或未经取代或经取代的C_3-30杂芳烷基，

其中X任选地包含酯基或-C(CF₃)₂OH；

m是0或更大的整数，其限制条件为当m是2或更大的整数时，两个相邻的基团X任选地形成环；并且

n是1或更大的整数。

2.根据权利要求1所述的单体，其中

L是未经取代的C_1-20亚烷基或经-F取代的C_1-20亚烷基、羟基或C_1-10烷基；

X是羟基；并且

n是1、2或3。