[发明专利]升降机、工艺腔设备及其控制方法

说明书

本发明是关于一种升降机、工艺腔设备及其控制方法，该升降机包括：驱动装置；支撑装置，连接所述驱动装置，且所述驱动装置驱动所述支撑装置升缩；托台，与所述支撑装置连接，在所述支撑装置的带动下进行升缩。该技术方案结构简单易实现，安装也简单。

技术领域

本发明涉及机械技术领域，尤其涉及升降机、工艺腔设备及其控制方法。

背景技术

在太阳能真空设备中，经常需要一些机械手将基板送入工艺腔的腔室内，工艺腔设备中的托起装置托住基板后升起，机械手就可以退出真空室，完成一次基板由外部至真空室的传输。该托起装置多是采用蜗轮蜗杆结构或滚珠丝杠结构，由电机作为动力源，在蜗轮蜗杆结构或滚珠丝杠结构与电机之间安装导向结构，引导该电机提供的动力使得蜗轮蜗杆结构或滚珠丝杠结构实现上下往复的运动，安装比较复杂，并且调整麻烦。

发明内容

本发明实施例提供升降机、工艺腔设备及其控制方法。所述技术方案如下：

根据本发明实施例的第一方面，提供一种升降机，包括：

驱动装置；

支撑装置，连接所述驱动装置，且所述驱动装置驱动所述支撑装置升缩；

托台，与所述支撑装置连接，在所述支撑装置的带动下进行升缩。

在一个实施例中，所述驱动装置包括电动滑台。

在一个实施例中，所述托台包括：

托板，与所述支撑装置一端连接；

托柱，设置于所述托板，用于支撑被支撑物。

在一个实施例中，所述支撑装置包括：

波纹管；

上法兰，与所述波纹管的一端连接；

下法兰，与所述波纹管的另一端连接；

内柱，与所述驱动装置连接，且所述内柱设置于所述波纹管内，所述内柱的一端与所述波纹管通过下法兰固定连接；所述内柱的另一端穿过所述波纹管一端的上法兰。

在一个实施例中，所述上法兰设有密封槽。

在一个实施例中，所述升降机还包括：

固定架，连接所述驱动装置，用于将所述升降机固定在预设位置。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种工艺腔设备，包括上述的升降机和工艺腔；

其中，所述工艺腔设置有开孔，所述升降机的支撑装置穿过所述开孔，且所述托台设置于所述工艺腔内。

在一个实施例中，所述工艺腔为真空腔；所述工艺腔设备还包括：

密封层，设置在所述开孔周围，用于密封所述开孔与所述支撑装置之间的间隙。

在一个实施例中，所述支撑装置包括波纹管，与所述波纹管的一端连接的上法兰；与所述波纹管的另一端连接的下法兰；

所述上法兰设置于所述开孔周围；

所述密封层，设置于所述上法兰。

在一个实施例中，所述上法兰朝向所述开孔一面设有密封槽；所述密封层设置于所述密封槽内。

在一个实施例中，包括至少两个所述升降机；所述工艺腔的底部对应每个升降机设置有一个开孔。

在一个实施例中，所述工艺腔设备还包括：

传输装置，用于传输被支撑物；

位置检测装置，用于检测所述被支撑物位置信息；