[发明专利]升降机、工艺腔设备及其控制方法

权利要求书

1.一种升降机，其特征在于，包括：

驱动装置；

支撑装置，连接所述驱动装置，且所述驱动装置驱动所述支撑装置升缩；

托台，与所述支撑装置连接，在所述支撑装置的带动下进行升缩。

2.根据权利要求1所述的升降机，其特征在于，

所述驱动装置包括电动滑台。

3.根据权利要求1所述的升降机，其特征在于，所述托台包括：

托板，与所述支撑装置一端连接；

托柱，设置于所述托板，用于支撑被支撑物。

4.根据权利要求1所述的升降机，其特征在于，所述支撑装置包括：

波纹管；

上法兰，与所述波纹管的一端连接；

下法兰，与所述波纹管的另一端连接；

内柱，与所述驱动装置连接，且所述内柱设置于所述波纹管内，所述内柱的一端与所述波纹管通过下法兰固定连接；所述内柱的另一端穿过所述波纹管一端的上法兰。

5.根据权利要求4所述的升降机，其特征在于，所述上法兰设有密封槽。

6.根据权利要求1所述的升降机，其特征在于，所述升降机还包括：

固定架，连接所述驱动装置，用于将所述升降机固定在预设位置。

7.一种工艺腔设备，其特征在于，包括权利要求1至6任一项所述的升降机和工艺腔；

其中，所述工艺腔设置有开孔，所述升降机的支撑装置穿过所述开孔，且所述托台设置于所述工艺腔内。

8.根据权利要求7所述的工艺腔设备，其特征在于，所述工艺腔为真空腔；所述工艺腔设备还包括：

密封层，设置在所述开孔周围，用于密封所述开孔与所述支撑装置之间的间隙。

9.根据权利要求8所述的工艺腔设备，其特征在于，所述支撑装置包括波纹管，与所述波纹管的一端连接的上法兰；与所述波纹管的另一端连接的下法兰；

所述上法兰设置于所述开孔周围；

所述密封层，设置于所述上法兰。

10.根据权利要求9所述的工艺腔设备，其特征在于，所述上法兰朝向所述开孔一面设有密封槽；所述密封层设置于所述密封槽内。

11.根据权利要求7至10任一项所述的工艺腔设备，其特征在于，包括至少两个所述升降机；所述工艺腔的底部对应每个升降机设置有一个开孔。

12.根据权利要求7所述的工艺腔设备，其特征在于，所述工艺腔设备还包括：

传输装置，用于传输被支撑物；

位置检测装置，用于检测所述被支撑物位置信息；

控制装置，用于根据所述位置检测装置检测的所述被支撑物位置信息与所述控制装置内预先存储的预设位置信息之间的差值，控制所述传输装置和升降机。

13.一种工艺腔设备的控制方法，其特征在于，应用于权利要求7至12任一项所述的工艺腔设备，所述方法包括：

当位置检测装置检测到传输装置将被支撑物运输至第一预设位置时，控制装置控制升降机的驱动装置驱动支撑装置带动托台升起，使得所述被支撑物脱离所述传输装置；

当所述位置检测装置检测到被支撑物已脱离所述传输装置的位置信息时，所述控制装置控制所述传输装置离开所述工艺腔；

在所述传输装置离开工艺腔后，所述控制装置控制升降机的驱动装置驱动支撑装置带动托台上的被支撑物运动至第二预设位置。