[发明专利]一种GaAs-锑烯异质结太阳电池及其制备方法在审
申请号: | 201810538952.7 | 申请日: | 2018-05-30 |
公开(公告)号: | CN108807584A | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 张曙光;温雷 | 申请(专利权)人: | 华南理工大学 |
主分类号: | H01L31/07 | 分类号: | H01L31/07;H01L31/0224;H01L31/0304;H01L31/18 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 陈智英 |
地址: | 510640 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制备 异质结太阳电池 太阳能电池 异质结太阳能电池 光电转换效率 分子束外延 二维原子 晶体材料 直接生长 背电极 顶电极 异质结 衬底 带隙 匹配 | ||
1.一种GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:由下至上依次包括背电极、GaAs衬底、锑烯层、顶电极。
2.根据权利要求1所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:所述GaAs衬底为N型GaAs片;GaAs片的电子浓度为1×1017-9×1017cm-3;
所述锑烯层的层数为1~10层。
3.根据权利要求1所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:所述背电极为常规的电极材料;厚度为50~400nm;
所述顶电极为常规的电极材料;厚度为100~3000nm。
4.根据权利要求1所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,还包括GaAs重构层,所述GaAs重构层位于GaAs衬底和锑烯层之间。
5.根据权利要求4所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:所述GaAs重构层的厚度为0.5~5μm。
6.根据权利要求1~5任一项所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)在GaAs衬底的一面镀上背电极,将GaAs衬底中镀有背电极的一面称为下表面,另一面称为上表面;
(2)采用分子束外延法,在GaAs衬底的上表面生长GaAs重构层;
(3)采用分子束外延法,在GaAs重构层表面生长锑烯层;
(4)在锑烯层上制备顶电极。
7.根据权利要求6所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤(3)中所述采用分子束外延法在GaAs重构层表面生长锑烯的条件为:生长过程中MBE生长室的真空度为1×10-9~1×10-10mbar,衬底温度为300-800℃,生长过程中锑源束流为:1×10-7~1×10-6torr,生长时间为:5-30分钟,锑烯的层数为1~10层。
8.根据权利要求6所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤(3)中所述锑烯层在生长完后需进行退火处理。
9.根据权利要求8所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述退火的温度为150~500℃,退火的时间为5~30分钟。
10.根据权利要求6所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤(2)中所述GaAs重构层的具体制备条件为:采用分子束外延方法生长,生长温度为300-800℃,生长速率为200-600nm/h,生长过程中的Ga源束流为:1×10-7~9×10-7torr,As源束流为:3×10-6~5×10-5torr,GaAs重构层的厚度为:0.5-5μm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的