[发明专利]一种GaAs-锑烯异质结太阳电池及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201810538952.7 申请日: 2018-05-30
公开(公告)号: CN108807584A 公开(公告)日: 2018-11-13
发明(设计)人: 张曙光;温雷 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: H01L31/07 分类号: H01L31/07;H01L31/0224;H01L31/0304;H01L31/18
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 陈智英
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 制备 异质结太阳电池 太阳能电池 异质结太阳能电池 光电转换效率 分子束外延 二维原子 晶体材料 直接生长 背电极 顶电极 异质结 衬底 带隙 匹配
【权利要求书】:

1.一种GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:由下至上依次包括背电极、GaAs衬底、锑烯层、顶电极。

2.根据权利要求1所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:所述GaAs衬底为N型GaAs片;GaAs片的电子浓度为1×1017-9×1017cm-3

所述锑烯层的层数为1~10层。

3.根据权利要求1所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:所述背电极为常规的电极材料;厚度为50~400nm;

所述顶电极为常规的电极材料;厚度为100~3000nm。

4.根据权利要求1所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,还包括GaAs重构层,所述GaAs重构层位于GaAs衬底和锑烯层之间。

5.根据权利要求4所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池,其特征在于:所述GaAs重构层的厚度为0.5~5μm。

6.根据权利要求1~5任一项所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:

(1)在GaAs衬底的一面镀上背电极,将GaAs衬底中镀有背电极的一面称为下表面,另一面称为上表面;

(2)采用分子束外延法,在GaAs衬底的上表面生长GaAs重构层;

(3)采用分子束外延法,在GaAs重构层表面生长锑烯层;

(4)在锑烯层上制备顶电极。

7.根据权利要求6所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤(3)中所述采用分子束外延法在GaAs重构层表面生长锑烯的条件为:生长过程中MBE生长室的真空度为1×10-9~1×10-10mbar,衬底温度为300-800℃,生长过程中锑源束流为:1×10-7~1×10-6torr,生长时间为:5-30分钟,锑烯的层数为1~10层。

8.根据权利要求6所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤(3)中所述锑烯层在生长完后需进行退火处理。

9.根据权利要求8所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述退火的温度为150~500℃,退火的时间为5~30分钟。

10.根据权利要求6所述GaAs-锑烯异质结太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤(2)中所述GaAs重构层的具体制备条件为:采用分子束外延方法生长,生长温度为300-800℃,生长速率为200-600nm/h,生长过程中的Ga源束流为:1×10-7~9×10-7torr,As源束流为:3×10-6~5×10-5torr,GaAs重构层的厚度为:0.5-5μm。

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