[发明专利]一种彩色滤光片的制备基板及彩色滤光片基板的制造方法

说明书

本发明公开了一种彩色滤光片的制备基板及彩色滤光片基板的制造方法，包括：有效区域，用于在其内形成矩阵排列的第一颜色色阻块、第二颜色色阻块和第三颜色色阻块；非有效区域，设置在所述有效区域的周围；对位精度检测图案，设置在所述非有效区域内，且包括第一对位精度检测图案、第二对位精度检测图案和第三对位精度检测图案，所述制备基板能够利用同一所述光罩图案而在所述制备基板上形成所述第一颜色色阻块、所述第二颜色色阻块和所述第三颜色色阻块。通过上述方式，本发明能够确定不同颜色层间图形的相对位置精度，提高产品质量。

技术领域

本发明涉及彩色滤光片技术领域，特别是涉及一种彩色滤光片的制备基板及彩色滤光片基板的制造方法。

背景技术

彩色滤光片是液晶显示装置的重要组成部分，而随着人们对显示装置的清晰度要求越来越高，相应的，彩色滤光片的RGB像素线宽越来越窄。为保证不同颜色层间图形的相对位置精度，通常采用彩色滤光片的制备基板上的对应精度检测图案与每个颜色层对应的光罩上设置额光罩对位图案的匹配来检测相应颜色的颜色层的相对位置精度。

现有技术中，为降低生产成本和缩短工艺流程，通过移动一个共用光罩的方式在该制备基板上形成不同颜色的颜色层，此时，该光罩上的光罩对位图案在该制备基板上的对应精度检测图案中的投影无法对每个颜色的颜色层的相对位置精确度进行指示。因此，在使用一个光罩图案对不同的颜色层进行曝光时，无法确定不同颜色层间图形的相对位置精度，产品质量不可靠。

本申请的发明人在长期的研发过程中，发现现有的彩色滤光片的制备基板无法确定不同颜色层间图形的相对位置精度，产品质量不可靠。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种彩色滤光片的制备基板及彩色滤光片基板的制造方法，能够确定不同颜色层间图形的相对位置精度，提高产品质量。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种彩色滤光片的制备基板。

其中，该制备基板包括：

有效区域，用于在其内形成矩阵排列的第一颜色色阻块、第二颜色色阻块和第三颜色色阻块；

非有效区域，设置在该有效区域的周围；

对位精度检测图案，设置在该非有效区域内，且包括第一对位精度检测图案、第二对位精度检测图案和第三对位精度检测图案；

其中，当利用一共用光罩图案在该制备基板上形成矩阵排列的该第一颜色色阻块时，根据该光罩图案投影在该第一对位精度检测图案中的位置而调整修正该光罩图案的位置；

当利用该共用光罩图案在该制备基板上形成矩阵排列的该第二颜色色阻块时，根据该光罩图案投影在该第二对位精度检测图案中的位置而调整修正该光罩图案的位置；

当利用该共用光罩图案在该制备基板上形成矩阵排列的该第三颜色色阻块时，根据该光罩图案投影在该第三对位精度检测图案中的位置而调整修正该光罩图案的位置，从而利用同一该光罩图案而在该制备基板上形成该第一颜色色阻块、该第二颜色色阻块和该第三颜色色阻块。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种彩色滤光片基板的制造方法。

其中，该方法包括：

提供一彩色滤光片的制备基板，其中，该制备基板包括有效区域、非有效区域和设置在该非有效区域中的第一对位精度检测图案、第二对位精度检测图案和第三对位精度检测图案；

提供一共用光罩图案，其中，该共用光罩图案包括第一光罩对位图案、第二光罩对位图案和第三光罩对位图案；