[发明专利]一种用于提高二次离子质谱仪选样效率的装置

权利要求书

1.一种用于提高二次离子质谱仪选样效率的装置，其特征在于：包括计算机、显微镜主体、显微镜载物台和坐标转换系统，所述显微镜载物台上安装有限位器模块、驱动模块和位置感应模块，所述显微镜主体、限位器模块、驱动模块和位置感应模块分别通过数据线与所述计算机相连，所述计算机控制所述驱动模块在所述显微镜载物台上移动，所述限位器模块限制所述驱动模块的最大位移，所述位置感应模块感应所述驱动模块的移动位置坐标，所述坐标转换系统将所述移动位置坐标转换为二次离子质谱仪相应的坐标；所述坐标转换系统将移动位置坐标转换为二次离子质谱仪相应的坐标，包括以下步骤：

步骤一：在显微镜下确定三个特定点，记录所述三个特定点在显微镜下的旧坐标(X₁,Y₁)，(X₂,Y₂)，(X₃,Y₃)，再记录所述三个特定点在二次质谱仪中的新坐标(X₁’,Y₁’)，(X₂’,Y₂’)，(X₃’,Y₃’)；

步骤二：根据新旧坐标的转换，确定其他坐标点的转换公式需要的参数a，b，c，d，e，f，

其中，

c＝X′₁-a*X₁-b*Y₁ (3)

f＝Y′₁-d*X₁-e*Y₁ (6)

步骤三：根据上述确定的6个参数a，b，c，d，e，f，获取坐标转换公式：

X’＝a*X+b*Y+c (7)

Y’＝d*X+e*Y+f (8)

步骤四：根据上述坐标转换公式(7)、(8)，将显微镜下任意点的坐标转换为二次质谱仪下的坐标。