[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

说明书

本发明提供一种蒸镀装置及蒸镀方法。所述蒸镀装置包括加热源、坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚、移动部以及支架，第一坩埚、第二坩埚及移动部均设于坩埚盖的下方，第一坩埚固定在支架上，且第一坩埚及第二坩埚均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖一端的底面，坩埚盖安装于第一坩埚的外侧壁上，第二坩埚固定于移动部的顶面，第一坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于第二坩埚外侧壁以外，加热源的电热丝在与坩埚盖及第一坩埚所在位置对应的第一区域的密度大于第一区域下方的第二区域的密度。该蒸镀装置能够有效提高蒸镀材料的利用率，并可以有效降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。

技术领域

本发明涉及显示装置制造技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。

背景技术

平板显示器件具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的平板显示器件主要包括液晶显示器件(Liquid Crystal Display，LCD)及有机电致发光显示器件(Organic Light Emitting Display，OLED)。其中，OLED显示器件相较于LCD，不仅具有十分优异的显示性能，还具有全固态、自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、室温工作、低功耗及易于实现柔性显示和3D显示等优点，被誉为“梦幻显示器”，一致被公认为是下一代显示的主流技术，得到了各大显示器厂家的青睐。

OLED显示器件通常由阳极、阴极、以及夹在阳极和阴极之间的有机电致发光材料层构成，有机电致发光材料层又包括空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、及电子注入层。OLED显示器件的发光机理是从阴、阳两级分别注入电子和空穴，被注入的电子和空穴经传输在发光层内复合，从而激发发光层分子产生单态激子，单态激子辐射衰减而发光。

目前，制备OLED显示器件主流的主要方式是真空加热镀膜，即在真空腔体内使用坩埚加热OLED材料，使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽，透过金属掩膜板上的开孔沉积在基板上。

请参阅图1及图2，现有的一种蒸镀用坩埚包括坩埚本体100、套设于坩埚本体100外侧的电热丝200，坩埚本体100顶部设有开孔110。使用时，利用电热丝200对坩埚本体100进行加热，使得坩埚本体100内的蒸镀材料蒸发并从开孔110排出。由于蒸镀材料一般为热的非良导体，加热时坩埚本体100在其径向上具有温度差，越靠近坩埚本体100轴心的区域温度越低，会导致位于坩埚本体100内的蒸镀材料受热不均，使开孔堵塞。与此同时，由于需要维持坩埚本体100顶部的开口110排出蒸镀材料的速率稳定，需要优先保证开孔110处的温度，因此，坩埚本体100在轴向的方向也会产生温度差，坩埚本体100的顶部温度要高于底部温度，这就使得坩埚本体100内位于底部的蒸镀材料在达到蒸发温度后，在经过坩埚本体100顶部区域的时候其温度会超过材料裂解温度而裂解，导致该部分蒸镀材料被浪费掉。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀装置，能够提高蒸镀材料的利用率，降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。

本发明的另一目的在于提供一种蒸镀方法，能够提高蒸镀材料的利用率，降低蒸镀装置内的径向温差，提高蒸镀装置内蒸镀材料的受热均匀度。

为实现上述目的，本发明首先提供一种蒸镀装置，包括筒状的加热源、容置在加热源内的坩埚盖、第一坩埚、第二坩埚及移动部以及支架；

所述第一坩埚、第二坩埚及移动部均设于坩埚盖的下方；所述第一坩埚固定在所述支架上；所述第一坩埚及第二坩埚均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离所述坩埚盖一端的底面；所述坩埚盖安装于第一坩埚的外侧壁上，所述坩埚盖中心设有开孔，所述第一坩埚的内侧壁靠近坩埚盖的一端与坩埚盖之间在竖直方向存在间隔；所第一坩埚的外侧壁的高度大于或等于其内侧壁的高度；所述第二坩埚固定于移动部的顶面；所述第一坩埚的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚外侧壁以外；