[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括筒状的加热源(10)、容置在加热源(10)内的坩埚盖(20)、第一坩埚(30)、第二坩埚(40)及移动部(50)以及支架(80)；

所述第一坩埚(30)、第二坩埚(40)及移动部(50)均设于坩埚盖(20)的下方；所述第一坩埚(30)固定在所述支架(80)上；所述第一坩埚(30)及第二坩埚(40)均包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖(20)一端的底面；所述坩埚盖(20)安装于第一坩埚(30)的外侧壁上，所述坩埚盖(20)中心设有开孔(21)，所述第一坩埚(30)的内侧壁靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)之间在竖直方向存在间隔；所述第一坩埚(30)的外侧壁的高度大于或等于其内侧壁的高度；所述第二坩埚(40)固定于移动部(50)的顶面；所述第一坩埚(30)的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚(40)外侧壁以外；

所述加热源(10)包括筒状的壳体(11)及套设于壳体(11)上的电热丝(12)，所述壳体(11)具有与坩埚盖(20)及第一坩埚(30)所在位置对应的第一区域(111)以及位于第一区域(111)下方的第二区域(112)；电热丝(12)在第一区域(111)的密度大于电热丝(12)在第二区域(112)的密度；

还包括容置在加热源(10)内的第三坩埚(60)；

所述第三坩埚(60)设于坩埚盖(20)的下方；所述第三坩埚(60)包括内侧壁、设于内侧壁外的外侧壁及连接内侧壁与外侧壁远离坩埚盖(20)一端的底面；所述第一坩埚(30)的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第三坩埚(60)外侧壁以外；所述第三坩埚(60)的内侧壁在竖直方向的投影位于所述第二坩埚(40)外侧壁以外；所述第一坩埚(30)的内侧壁的内表面底部设有第一限位部(31)，所述第三坩埚(60)外侧壁的外表面顶部设有第二限位部(61)，所述第一限位部(31)在竖直方向的投影与所述第二限位部(61)在竖直方向的投影至少部分重叠，所述第一限位部(31)位于第二限位部(61)下方；所述第三坩埚(60)的内侧壁的内表面底部设有弹性限位单元(62)，所述弹性限位单元(62)在竖直方向上的投影与所述第二坩埚(40)的外侧壁在竖直方向上的投影至少部分重叠；当所述第三坩埚(60)靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)之间存在间隔且第二坩埚(40)外侧壁位于弹性限位单元(62)下方时，向上移动移动部(50)，第二坩埚(40)的外侧壁对第三坩埚(60)的弹性限位单元(62)进行推动使第三坩埚(60)上升；当所述第三坩埚(60)靠近坩埚盖(20)的一端与坩埚盖(20)接触且第二坩埚(40)外侧壁位于弹性限位单元(62)下方时，向上移动移动部(50)，第二坩埚(40)的外侧壁压缩弹性限位单元(62)而移动至第三坩埚(60)的内侧壁内。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一坩埚(30)及第二坩埚(40)的内侧壁及外侧壁均为圆筒状；所述第二坩埚(40)的内侧壁及外侧壁的轴线与所述第一坩埚(30)的内侧壁及外侧壁的轴线均重合。

3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一坩埚(30)、第二坩埚(40)及第三坩埚(60)的内侧壁及外侧壁均为圆筒状；所述第二坩埚(40)的内侧壁及外侧壁的轴线、所述第一坩埚(30)的内侧壁及外侧壁的轴线以及所述第三坩埚(60)的内侧壁及外侧壁的轴线均重合。

4.如权利要求2或3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚盖(20)的形状为圆形。

5.如权利要求2或3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述壳体(11)为圆筒状；所述壳体(11)的轴线与第一坩埚(30)内侧壁的轴线重合。

6.如权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述开孔(21)对应第一坩埚(30)内侧壁的轴线设置。