[发明专利]带异物检测功能的基板吸附设备及异物检测方法

权利要求书

1.一种带异物检测功能的基板吸附设备，其特征在于，包括：真空吸附平台(1)、设于所述真空吸附平台(1)上的一个第一顶针(2)、设于所述真空吸附平台(1)上的均匀分布于所述第一顶针(2)四周的多个第二顶针(3)、安装于所述第一顶针(2)上的能围绕第一顶针(2)旋转的信号收发装置(4)以及与所述第一顶针(2)、第二顶针(3)及信号收发装置(4)电性连接的控制模块(5)，所述第一顶针(2)和第二顶针(3)均能沿垂直于所述真空吸附平台(1)的方向进行升降。

2.如权利要求1所述的带异物检测功能的基板吸附设备，其特征在于，所述信号收发装置(4)为电磁信号收发装置、光电信号收发装置或脉冲信号收发装置。

3.如权利要求1所述的带异物检测功能的基板吸附设备，其特征在于，所述第一顶针(2)和第二顶针(3)的材料均为特氟龙或环氧树脂。

4.如权利要求1所述的带异物检测功能的基板吸附设备，其特征在于，所述第二顶针(3)的数量为24个，所述24个第二顶针(3)与第一顶针(2)共同排列成5行5列且所述第一顶针(2)位于第3行第3列。

5.一种异物检测方法，其特征在于，应用于如权利要求1至4任一项所述的带异物检测功能的基板吸附设备，包括如下步骤：

提供一基板(10)，所述控制模块(5)控制所述第一顶针(2)和第二顶针(3)升起，将基板(10)放置到所述第一顶针(2)和第二顶针(3)上，且所述基板(10)的中心点对应位于所述第一顶针(2)上；

所述控制模块(5)控制所述信号收发装置(4)发出检测信号，同时所述信号收发装置(4)围绕所述第一顶针(2)旋转，所述检测信号贴合所述基板(10)的背面传播；

所述信号收发装置(4)接收到反射回的检测信号时，控制模块(5)判定基板(10)的背面存在异物，并根据检测信号的发出与接收的时间间隔以及信号收发装置(4)的当前旋转角度判定所述异物的位置；

在每一轮检测信号的发射时间内，所述控制模块(5)进行异物判断时，还剔除该一轮检测信号发射时间内，处于升起状态的各个顶针组的第二顶针(3)反射回的检测信号，以避免误判。

6.如权利要求5所述的异物检测方法，其特征在于，在进行所述控制模块(5)控制所述信号收发装置(4)发出检测信号，同时所述信号收发装置(4)围绕所述第一顶针(2)旋转的步骤的同时还进行以下步骤：提供一光电传感器(7)，通过所述光电传感器(7)向所述基板(10)的正面发射光信号，以根据所述基板(10)反射回来光信号的强度变化检测所述基板(10)的正面是否存在异物。

7.如权利要求5所述的异物检测方法，其特征在于，所述控制模块(5)控制所述信号收发装置(4)发出检测信号，同时所述信号收发装置(4)围绕所述第一顶针(2)旋转的步骤具体包括：

将所述第二顶针(3)分为N个顶针组，每一个顶针组均包括多个第二顶针(3)，同一个顶针组中的多个第二顶针(3)均匀分布于所述第一顶针(2)的四周，且不同顶针组中的两第二顶针(3)与第一顶针(2)分布于不共线的三点，N为大于1的正整数；

进行N轮检测信号的发射，在每一轮检测信号的发射时间内，所述信号收发装置(4)围绕所述第一顶针(2)旋转一周，所述多个顶针组中的一个顶针组下降；在不同轮的检测信号的发射时间内，下降的顶针组不同。

8.如权利要求5所述的异物检测方法，其特征在于，所述异物检测方法的检测精度大于0.1um。

9.如权利要求5所述的异物检测方法，其特征在于，剔除被第二顶针(3)反射回的检测信号后，所述信号收发装置(4)未接收到其他被反射回的检测信号时，判定基板(10)的背面无异物。