[发明专利]一种清洗系统

说明书

本发明涉及一种清洗系统，包括清洗装置和检测装置，该清洗装置包括输送平台和机架，其中该清洗装置形成水幕，且该水幕与该输送平台的承载面相交于交线；该检测装置包括运动组件和传感器，该运动组件设置于该清洗装置的机架，该传感器包括第一检测组件和第二检测组件，其中该第一检测组件设置于该运动组件，该第二检测组件设置于该机架，该传感器用于检测该水幕是否出现分叉。

技术领域

本发明涉及显示面板生产领域，特别是涉及一种采用水幕分叉检测装置的清洗系统。

背景技术

在液晶显示面板的生产过程中，基板生产所使用的铝蚀刻液主要由硝酸(HNO3)、磷酸(H3PO4)及醋酸(CH3COOH)三种成份混合而成。

在蚀刻制程结束后，在第一初洗的水洗槽入口会加装垂直行进方向的水幕冲洗装置，通过水刀(AquaKnife，AQK或DeionizedWater，DIW)喷出清洗液形成水幕以清洗基板表面的药剂，目的在于迅速的中止蚀刻反应。若水幕因异常原因形成分叉，分叉处残留的药剂会继续蚀刻基板，造成膜面蚀刻不均匀，即产生模色异常(MURA)。且因水幕分叉的现象无法被流量计与压力计监控，只能以人为查验，或是在产品的质量控制(manufacturingquality control，MQC)时检测异常，在发生分叉到发现异常这段期间通过的产品皆为不良品，造成质量与产能上的损害。

发明内容

本发明之实施例提出了一种采用水幕分叉检测装置的清洗系统，包括：

清洗装置，包括输送平台和机架，其中该清洗装置形成水幕，且该水幕与该输送平台的承载面相交于交线；

检测装置，包括运动组件，设置于该清洗装置的机架；以及传感器，该传感器包括第一检测组件和第二检测组件，其中该第一检测组件设置于该运动组件，该第二检测组件设置于该机架，该传感器用于检测该水幕是否出现分叉。

本发明之实施例所述的所述的清洗系统，其中该运动组件包括导轨与滑块，其中该导轨平行于该交线，该滑块设置于该导轨且沿该交线方向往复移动。

本发明之实施例所述的所述的清洗系统，其中该运动组件还包括动力模块，该动力模块具体包括电机、动力输出齿轮、皮带和皮带轮，其中该皮带以该皮带轮支撑，且该皮带与该滑块连接，而该电机通过该动力输出齿轮带动该皮带运动，以使该滑块在该滑轨上运动。

本发明之实施例所述的所述的清洗系统，其中该第一检测组件和该第二检测组件分别位于该水幕的两侧。

本发明之实施例所述的所述的清洗系统，其中该传感器为光传感器。

本发明之实施例所述的所述的清洗系统，其中该第一检测组件为光信号发射/接收器，该第二检测组件为反射板。

本发明实施例所述的所述的清洗系统，其中该检测装置还包括报警组件，与该传感器电性连接，用于当该水幕分叉时发出报警信号。

本发明之另一实施例还提出一种清洗系统的水幕分叉检测方法，应用于上述清洗系统，包括：

设定状态阈值；启动该清洗装置，清洗液通过该清洗装置的水刀喷出以形成水幕；启动该检测装置，使该检测装置的传感器移动并持续发送检测信号，该检测信号穿过该水幕后被该传感器接收形成状态信号；如该状态信号小于该状态阈值，则该水幕正常；如该状态信号大于或等于该状态阈值，该检测装置的报警组件发出报警信号，该输送平台停止输送基板。

附图说明

图1是本发明实施例的一种采用检测装置的清洗系统的前视示意图。

图2是本发明实施例的一种采用检测装置的清洗系统的侧视示意图。

图3是本发明实施例的检测装置的运动组件的示意图。

图4是本发明实施例的检测清洗系统水幕分叉的工作流程图。