[发明专利]一种清洗系统

权利要求书

1.一种清洗系统，其特征在于，包括：

清洗装置，包括输送平台和机架，其中该清洗装置形成水幕，且该水幕与该输送平台的承载面相交于交线；

检测装置，包括运动组件，设置于该清洗装置的机架；以及传感器，该传感器包括第一检测组件和第二检测组件，其中该第一检测组件设置于该运动组件，该第二检测组件设置于该机架，该传感器用于检测该水幕是否出现分叉。

2.如权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，该运动组件包括导轨与滑块，其中该导轨平行于该交线，该滑块设置于该导轨且沿该交线方向往复移动。

3.如权利要求2所述的清洗系统，其特征在于，该运动组件还包括动力模块，该动力模块具体包括电机、动力输出齿轮、皮带和皮带轮，其中该皮带以该皮带轮支撑，且该皮带与该滑块连接，而该电机通过该动力输出齿轮带动该皮带运动，以使该滑块在该滑轨上运动。

4.如权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，该第一检测组件和该第二检测组件分别位于该水幕的两侧。

5.如权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，该传感器为光传感器。

6.如权利要求1或5所述的清洗系统，其特征在于，该第一检测组件为光信号发射/接收器，该第二检测组件为反射板。

7.如权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，该检测装置还包括报警组件，与该传感器电性连接，用于当该水幕分叉时发出报警信号。

8.一种清洗系统的水幕分叉检测方法，应用于如权利要求1～7任一项所述的清洗系统，其特征在于，包括以下步骤：

设定状态阈值；

启动该清洗装置，清洗液通过该清洗装置的水刀喷出以形成水幕；

启动该检测装置，使该检测装置的传感器移动并持续发送检测信号，该检测信号穿过该水幕后被该传感器接收形成状态信号；以及

如该状态信号小于该状态阈值，则该水幕正常。

9.如权利要求8所述的水幕分叉检测方法，还包括：

如该状态信号大于或等于该状态阈值，该检测装置的报警组件发出报警信号，该输送平台停止输送基板。

10.一种清洗系统，其特征在于，包括：

机架；

输送平台，设置于该机架，且该输送平台包括驱动装置和多个滚轮，该驱动装置驱动该滚轮转动以使基板在该输送平台的承载面上沿第一方向移动；

水刀，位于该输送平台上方；

检测装置，包括运动组件和传感器；该运动组件设置于该机架；该传感器包括第一检测组件与第二检测组件，该第一检测组件设置于该运动组件，该第二检测组件设置于该机架，其中该第一检测组件可沿着第二方向移动，且该第一方向与该第二方向不相同。

11.如权利要求10所述的清洗系统，其特征在于，该第一检测组件和该第二检测组件分别位于该水刀形成的水幕两侧。

12.如权利要求10或11所述的清洗系统，其特征在于，该第一检测组件为光信号发射/接收器，该第二检测组件为反射板。

13.如权利要求10所述的清洗系统，其特征在于，该运动组件还包括动力模块，其中该动力模块包括电机，与该电机连接的动力输出齿轮，与该动力输出齿轮连接的皮带，以及支撑该皮带的皮带轮。

14.如权利要求13所述的清洗系统，其特征在于，还包括与该皮带固定连接的滑块，该第一检测组件则固定于该滑块。

15.如权利要求14所述的清洗系统，其特征在于，该运动组件还包括导轨与滑块，其中该导轨沿着该第一方向沿伸，且该滑块设置于该导轨，该支架设置于该滑块。