[发明专利]顶发光OLED的阳极结构、显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种顶发光OLED的阳极结构，其特征在于，包括基底以及于基底表面依次堆叠设置的防扩散欧姆接触粘结层、反射金属层、抗腐蚀防扩散层以及能级匹配层，所述防扩散欧姆接触粘结层材料为铌、铬、镍、钛中的一种、两种或两种以上与钼的合金；所述抗腐蚀防扩散层材料为铑、钛、镍、钌、铌、金中的一种、两种或两种以上与钯的合金。

2.根据权利要求1所述的阳极结构，其特征在于，

所述防扩散欧姆接触粘结层厚度为1nm-100nm；

所述反射金属层材料为铂、铝、银、铜中的一种、两种或两种以上的合金，所述反射金属层厚度为30nm-100nm；

所述抗腐蚀防扩散层厚度为3nm-50nm；

所述能级匹配层材料为铂、铱、镍中的一种、两种或两种以上的合金，所述能级匹配层的厚度为1nm-80nm。

3.根据权利要求2所述的阳极结构，其特征在于，

所述防扩散欧姆接触粘结层材料为镍钼合金，所述镍钼合金中镍与钼的原子比为1：2，厚度为15nm；

所述反射金属层材料为铂，厚度为40nm；

所述抗腐蚀防扩散层材料为钯钛合金，所述钯钛合金的原子比为1：2，厚度为6nm；

所述能级匹配层材料为铂，厚度为6nm；

或者，所述防扩散欧姆接触粘结层材料为铌钼合金，所述铌钼合金中铌与钼的原子比为1：1，厚度为20nm；

所述反射金属层材料为铂，厚度为40nm；

所述抗腐蚀防扩散层材料为钯钌合金，所述钯钌合金的原子比为1：3，厚度为6nm；

所述能级匹配层材料为铱，厚度为7nm。

4.一种显示装置，其特征在于，包括多个顶发光OLED，所述顶发光OLED包括如权利要求1至3任意一项所述的阳极。

5.一种显示装置的制备方法，其特征在于，包括形成阳极结构的步骤，包括：提供基底；于所述基底表面依次堆叠形成防扩散欧姆接触粘结层、反射金属层、抗腐蚀防扩散层以及能级匹配层，所述防扩散欧姆接触粘结层材料为铌、铬、镍、钛中的一种、两种或两种以上与钼的合金；所述抗腐蚀防扩散层材料为铑、钛、镍、钌、铌、金中的一种、两种或两种以上与钯的合金。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，通过磁控溅射或电子束蒸镀依次形成防扩散欧姆接触粘结层、反射金属层、抗腐蚀防扩散层以及能级匹配层；

所述反射金属层材料为铂、铝、银、铜中的一种、两种或两种以上的合金；

所述能级匹配层材料为铂、铱、镍中的一种、两种或两种以上的合金。