[发明专利]一种真空镀膜机使用的试样旋转装置及其镀膜方法

说明书

本发明涉及工程电介质技术领域，具体为一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，包括真空腔体和镀膜系统；所述真空腔体上设置有法兰接线柱，所述法兰接线柱通过导线与设置在真空腔体内部的集电环电连接，所述集电环上端与一组法兰连接，所述集电环下端与设置在所述真空腔体内的镀膜系统连接，所述法兰上方还设置有一组磁流体，所述磁流体上方设置有一组驱动转轮，所述驱动转轮从上到下依次穿过所述磁流体、所述法兰和所述集电环并与所述镀膜系统连接；本发明对传统镀膜机所做的改动旨在缩短其对片状试样两面进行真空镀膜的时间、提高实验效率。

技术领域

本发明涉及工程电介质技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机使用的试样旋转装置及其镀膜方法。

背景技术

在工程电介质领域，测量材料电性能时经常需要将材料制成薄片，并在其两端喷镀金属电极。本发明主要应用于电介质领域对材料介电性能研究实验的前期准备工作过程中，设计了一种真空镀膜机使用的试样旋转装置用以提高镀膜工作的工作效率。在对片状试样进行真空镀膜时，实验者完成一面镀膜后需要对真空腔体进行去真空，再由人工将试样翻面进而完成另一面的镀膜工作，如此耗时长且操作繁琐，不利于提高实验效率。

发明内容

本发明克服了上述现有技术的不足，提供了一种真空镀膜机使用的试样旋转装置及其镀膜方法。本发明对传统镀膜机所做的改动旨在缩短其对片状试样两面进行真空镀膜的时间、提高实验效率。

本发明的技术方案：

一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，包括真空腔体和镀膜系统；所述真空腔体上设置有法兰接线柱，所述法兰接线柱通过导线与设置在真空腔体内部的集电环电连接，所述集电环上端与一组法兰连接，所述集电环下端与设置在所述真空腔体内的镀膜系统连接，所述法兰上方还设置有一组磁流体，所述磁流体上方设置有一组驱动转轮，所述驱动转轮从上到下依次穿过所述磁流体、所述法兰和所述集电环并与所述镀膜系统连接。

进一步的，所述镀膜系统包括悬空臂，所述悬空臂上端与所述驱动转轮连接，所述悬空臂上分别设置有两组安装臂，两组安装臂下端分别设置有上固定夹和下固定夹，所述上固定夹和所述下固定夹之间设置有镀膜板，所述上固定夹和下固定夹还与一组转轴连接，所述转轴设置在所述左安装臂下端的轴承内，所述转轴外端设置有驱动扭簧，所述驱动扭簧一端与所述转轴固定连接，另一端与所述安装臂固定连接，所述转轴端部加工有两组对称设置的卡槽，位于上方的卡槽上方设置有一组阻挡臂，所述阻挡臂上设置有与所述卡槽配合的卡紧块，所述阻挡臂一端与安装臂活动连接，所述阻挡臂还与一组磁性驱动装置连接；所述转轴端部还设置有一组限臂，所述限臂贯穿所述转轴端部，所述转轴旁侧还设置有一组档位柱。

进一步的，所述磁性驱动装置包括一组推拉式电磁铁，所述推拉式电磁铁通过导线与集电环电连接，所述悬空臂上加工有容纳导线的线孔，所述推拉电磁铁的活动端与所述阻挡臂连接。

一种真空镀膜机使用的试样旋转装置的镀膜方法，该方法包括如下步骤：

步骤a：一次镀膜：通过上固定夹和下固定夹将镀膜板固定；镀膜板固定后，绕转轴旋转，让驱动弹簧处于工作状态；步骤b：转动过程中，将档位柱拆下；

步骤c：驱动弹簧受力后用阻挡臂卡住；在阻挡臂卡住转轴上的卡槽后将档位柱安装上，

步骤d：在第一次镀膜时，打开外界的转轮开关，实现水平转动；

步骤e：第一次镀膜后，关闭转轮开关，打开推拉式电磁铁开关；法兰接线柱给真空腔内部的推拉式电磁铁提供电量；推拉式电磁铁将阻挡臂拉起，弹簧带动镀膜板转动；

步骤f：在镀膜板转动过程中最终限位臂与档位柱接触；相应的在限位臂与档位柱接触后，用推拉式电磁铁将阻挡臂推回，与卡槽紧扣；

步骤g：进行第二次镀膜；相应的旋转镀膜一面后通过翻面进行第二次镀膜，完成镀膜工作。