[发明专利]一种真空镀膜机使用的试样旋转装置及其镀膜方法在审
申请号: | 201810492972.5 | 申请日: | 2018-05-21 |
公开(公告)号: | CN108359956A | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 韩柏;吕雪松;王健宇;高鑫;孙志 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨理工大学 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 曹徐婷 |
地址: | 150080 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集电环 镀膜系统 法兰 试样旋转装置 真空镀膜机 驱动转轮 真空腔体 磁流体 接线柱 真空腔 电介质 从上到下 法兰连接 片状试样 实验效率 真空镀膜 电连接 镀膜机 体内部 上端 流体 镀膜 下端 组磁 体内 穿过 | ||
1.一种真空镀膜机使用的试样旋转装置,其特征在于,包括真空腔(18)和镀膜系统;所述真空腔(18)上设置有法兰接线柱(19),所述法兰接线柱(19)通过导线(7)与设置在真空腔(18)内部的集电环(4)电连接,所述集电环(4)上端与一组法兰(3)连接,所述集电环(4)下端与设置在所述真空腔(18)内的镀膜系统连接,所述法兰(3)上方还设置有一组磁流体(2),所述磁流体(2)上方设置有一组转轮(1),所述转轮(1)从上到下依次穿过所述磁流体(2)、所述法兰(3)和所述集电环(4)并与所述镀膜系统连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机使用的试样旋转装置,其特征在于,所述镀膜系统包括悬空臂(5),所述悬空臂(5)上端与所述转轮(1)连接,所述悬空臂(5)上分别设置有两组安装臂,两组安装臂下端分别设置有上固定夹(14)和下固定夹(15),所述上固定夹(14)和所述下固定夹(15)之间设置有镀膜板(13),所述上固定夹(14)和下固定夹(15)还与一组转轴(11)连接,所述转轴(11)设置在所述安装臂下端的轴承内,所述转轴(11)外端设置有弹簧(16),所述弹簧(16)一端与所述转轴(11)固定连接,另一端与所述安装臂固定连接,所述转轴(11)端部加工有两组对称设置的卡槽(17),位于上方的卡槽(17)上方设置有一组阻挡臂(9),所述阻挡臂(9)上设置有与所述卡槽(17)配合的卡紧块,所述阻挡臂(9)一端与安装臂活动连接,所述阻挡臂(9)还与一组磁性驱动装置连接;所述转轴(11)端部还设置有一组限臂(10),所述限臂(10)贯穿所述转轴(11)端部,所述转轴(11)旁侧还设置有一组档位柱(12)。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机使用的试样旋转装置,其特征在于,所述磁性驱动装置包括一组推拉式电磁铁(8),所述推拉式电磁铁(8)通过导线(7)与集电环(4)电连接,所述悬空臂(5)上加工有容纳导线的线孔(6),所述推拉式电磁铁(8)的活动端与所述阻挡臂(9)连接。
4.一种利用权利要求3所述的一种真空镀膜机使用的试样旋转装置的镀膜方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
步骤a:一次镀膜:通过上固定夹(14)和下固定夹(15)将镀膜板(13)固定;镀膜板(13)固定后,绕转轴(11)旋转,让驱动弹簧(16)处于工作状态;步骤b:转动过程中,将档位柱(12)拆下;
步骤c:驱动弹簧(16)受力后用阻挡臂(9)卡住;在阻挡臂(9)卡住转轴(11)上的卡槽(17)后将档位柱(12)安装上,
步骤d:在第一次镀膜时,打开外界的转轮(1)开关,实现水平转动;
步骤e:第一次镀膜后,关闭转轮(1)开关,打开推拉式电磁铁(8)开关;法兰接线柱(19)给真空腔内部的推拉式电磁铁(8)提供电量;推拉式电磁铁(8)将阻挡臂(9)拉起,弹簧(16)带动镀膜板(13)转动;
步骤f:在镀膜板(13)转动过程中最终限位臂与档位柱(12)接触;相应的在限位臂与档位柱(12)接触后,用推拉式电磁铁(8)将阻挡臂(9)推回,与卡槽(17)紧扣;
步骤g:进行第二次镀膜;相应的旋转镀膜一面后通过翻面进行第二次镀膜,完成镀膜工作。
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